激光器在显示天博体育中的应用：microled 剥离、转移和修复
coherent uvtransfer系统可用于在microled天博体育屏生产过程中执行三个关键步骤，助力生产出具有出色分辨率和亮度，且尺寸几乎没有限制的天博体育屏。
2022年10月4日，作者：coherent高意
在平板天博体育屏生产系列的第六篇博客中下一代天博体育屏。
当前，AMOLED技术为我们提供了适用于智能手机和电视的薄款显示屏，这些显示屏具有极为出众的色彩和分辨率。然而，显示屏天博体育商已经开始筹谋大批量生产新一代显示屏了，也就是Microled天博体育屏。
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这项快速兴起的技术基于小型（ <50微米）
实际上，microled显示屏的面世已有一段时间，只不过产量有限。目前，显示屏天博体育商正在研究如何将其投入全面生产。事实证明，激光在其中发挥着几个关键作用。我们来详细了解一下。
晶圆助力实现规模经济
无机（半导体）天博体育支持高光输出，比如它们可应用于高亮度汽车前照灯。因此，作为无机天博体育的微胶就可以做到尺寸虽小，但非常明亮。目前
这些有源发光体分为三种：红、绿和蓝。每种类型的有源发光体都是在密集图案化的蓝宝石晶圆上批量生产的（采用外延生长技术：。因此）
这些micro天博体育最终被放置在一块相对便宜的大尺寸玻璃上
这个概念看似简单，但实际实施起来绝非如此！
实现剥离
实际上|，要完成所有这些工作，存在一个贯穿始终的巨大挑战。必须将数百万颗，存在一个贯穿始终的巨大挑战。必须将数百万颗）从天博体育它们的蓝宝石晶圆上移出，并精确地放置在大型显示面板上。也许您想不到，并精确地放置在大型显示面板上。也许您想不到
解决方案是在自动化多重工艺（涉及本系列之前几篇文章中介绍的一些成熟技术）中采用天博体育技术。
实际上涉及三个独立的过程：起飞、转移和修复。首先，使用一项基于天博体育的传统技术，即天博体育剥离技术（llo），将microled与生产它们的蓝宝石晶圆分离，然后将其转移到临时载体上，以便于处理。载体涂有粘合剂，并与裸片顶部接触。准分子天博体育器发出的紫外光从蓝宝石晶圆后射出，将在裸片形成之前沉积在晶圆上的可蒸发薄材料层汽化。这样一来
提升 - 改变间距
接下来是天博体育诱导前向转移（升）。在这一步，来自紫外光（准分子，来自紫外光（准分子）
在巨量转移中，大面积天博体育束穿过掩膜板，以便仅释放特定芯片并将其推到显示基板上。所谓的均匀平顶光束对于精确放置来说至关重要。（不按比例）。
高吞吐量和强修复能力
LIFT支持在相对较小的蓝宝石晶圆上经济地生产大量微胶片，然后以更大的间隔（间距）
在当前以研发为目标的实施中，准分子天博体育脉冲频率高达20脉冲/秒（20 Hz），这意味着可以在一秒钟内用微胶片640 平方毫米的区域！而且在使用高（超过640 平方毫米的区域！而且在使用高（超过（1 J），这种准分子天博体育技术也表现出了极为出色的可扩展功率水平。使用
现在，对于天博体育相对简单的半导体器件（如无机，对于天博体育相对简单的半导体器件（如无机）
相干高意现已提供一款名为uvtransfer的microled天博体育屏生产工具。该工具可执行全部三项工艺：天博体育剥离（llo）、天博体育诱导前向转移（LIFT）以及缺陷像素的修复和修整。这款三合一工具将助力生产出实用且经济的大型微胶片显示屏。
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