激光器在显示天博体育app中的应用:准分子激光退火

coherent高意准分子激光器拥有一项关键的技术工艺,该工艺可实现更明亮、分辨率更高、更节能的显示屏。

2022年10月4日,作者:coherent高意

柔性OLED工艺

 

如今,大多数手机中使用的,大多数手机中使用的

在天博体育app设备电路的第一步中,有一个最重要的工艺由coherent高意激光器提供支持。此时,一层薄薄的硅(所有现代固态电子器件的核心半导体,一层薄薄的硅(所有现代固态电子器件的核心半导体)被沉积在一块被称为“母玻璃”,这些母玻璃面板通常为,1.5 x 1.85 x 1.85 gen 6.5),尽管手机天博体育app商希望将它们做得更大,以降低单个显示屏的成本

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难点在于非晶硅

但是这层硅有一个小问题。天博体育app这层硅的化学气相沉积工艺会产生非晶硅。在非晶硅中,单个原子以不规则和无序的方式排列。由非晶硅制成的电路不具备良好的电子特性,这意味着显示屏会更暗,并消耗更多的电池电量。

相比之下,手机中的集成电路以及我们今天使用的所有其他电子设备都是使用单晶硅制成的。单晶硅中的原子排列高度有序;这种排列带来了非常好的电子特性,也是现代微处理器速度如此惊人的原因之一。

遗憾的是,微处理器所用单晶硅晶片的天博体育app技术无法放大到接近玻璃基板的尺寸。但事实证明

 

 

关于显示屏生产的一个绝妙创意

那么,如何获得多晶硅呢?

不过问题是,硅需要加热到大约600°C才能熔化,而这样的高温以及相关的快速热循环会损坏普通玻璃制成的面板,因此面板需要使用昂贵的耐热型玻璃。这将使显示屏更加昂贵,尤其是当天博体育app商扩大到更大的玻璃板尺寸时。

解决方案是一种称为准分子激光退火(ELA)的技术,可用于天博体育app低温多晶硅(LTPS)。这种技术依赖于相干高意准分子激光器

使用准分子激光器的原因是因为它们是可以产生非常强大的紫外线脉冲的光源。硅强烈吸收紫外线,再加上高脉冲能量

 

显示器准分子天博体育app退火

准分子激光器的输出形成细线光束;这在母玻璃上快速扫描以有效地执行 ela。

 

硅的高吸收性还可以防止紫外线大量穿透下面的玻璃,或柔性显示屏中的聚酰胺(pi)层。因此

为了在大型玻璃基板上执行ela,准分子激光器发出的光束(通常为矩形)被重新整形为通常与玻璃板宽度相同的细线光束。该细线光束被聚焦到玻璃板上,并沿着整个面板长度进行扫描,以实现所需的硅熔化和再固化。
 

大规模ELA

每年全球大约生产15亿部手机。每个大型天博体育app商每天生产大约100万部手机。不用说,这些公司都希望自己的生产过程非常可靠并且成本较低。因为在这样的规模下,任何造成装配线暂时中断或产生废品的因素都会耗费大量资金。

 

大规模ELA

coherent linebeam系统是所有主要显示屏天博体育app商使用的经济高效的大规模ela解决方案。

 

coherent高意提供集成的紫外激光器和光学系统–我们的coherent linebeam,这是真正确保大规模ela 达到天博体育app商所需质量、可靠性、产量和成本特性的制胜法宝。因为在现实世界中

  • 准分子激光器 -coherent Vyper系列- 旨在以高重复频率(以实现必要的吞吐速度)提供非常高的能量脉冲,具有非凡的稳定性和较长的使用寿命。
  • lineBeam光学元件采用矩形准分子激光束
  • 主动监测和控制系统

ELA是生产高品质平板显示屏不可或缺的工具。而且,这种情况在短期内不太可能改变,因为coherent linebeam系统,可以加工更大尺寸的玻璃基板,让天博体育app商能够着眼于下一代更大屏幕的手机和平板设备。