天博综合app官网登录系统

uvtransfer

uvtransfer天博综合app官网登录器系统支持生产下一代微胶片

天博综合app官网登录工艺开发和试点生产线的uvtransfer三合一系统可以非常灵活地执行激光剥离llo)(升降机)和像素修复/修整。uvtransfer系统是一种全自动升降工具,具有最高的吞吐量和良率

UV转移- 概述

高性能系统提供无与伦比的精确,由高能248nm紫外天博综合app官网登录器驱动,可在大场径下实现高通量。

 

 

关键特性 优势 UV
三合一系统
- 研发工具和技术推动者
UV

- 批量生产升降工具
UV转移r

- 批量生产维修工具

完全自动化和全天候使用

 工业规模的大批量生产

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多功能性

只需一次投资即可调查、优化和验证三个流程

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大场径, 推进舞台概念

高吞吐量和出色的系统效率

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支持从50μm到5μm的所有芯片尺寸

面向未来的技术。

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久经考验准分子天博综合app官网登录器源

消除技术风险。

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Compex 102)

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(leap 300)

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(indystar 1Hz)

深紫外线

兼容几乎所有材料。

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fab集成

通过工厂网络实现全面的系统控制,工业4.0

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集成诊断

工艺稳定性和可靠性高

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