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通过相干磁盘翻新和涂敷服务，延长天博体育中国官方网站注入工具的使用寿命、降低拥有成本并提高其性能。
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关键能力
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这一切都加起来 我们的行业领先的创新能够改善2倍的寿命，减少晶片碎屑的99％，金属污染减少了50％，围栏“磨损”粒子的产生和30％的平均成本储蓄降低了80％。 |
高性能涂料 连贯的低温弹性体基座和散热器涂层可提高晶圆冷却，提高生产率并提高垫 - 填充晶圆的晶圆温度均匀性。 |
Torlon Fence组件 利用高磨损的抗性摩尔龙极大地改善了围栏和磁盘寿命，大大降低了晶圆碎屑，切割栅栏磨损和较低的金属污染。 |
 改进了栅栏设计 coherent高精度旋入式轴承栅栏设计具有更长的使用寿命 |
