フラットパネル天博体育appスプレイの制造工程を绍介する本连载の第6回は、レーザを用いて微胶片次世代天博体育appスプレイの自动量产化について、未来に向けて考えてみたいと思い天博体育app。
AMOLED の技术は、スマートフォンやテレビの薄型天博体育appスプレイを、素晴らしい色と解像度で提供しています。しかし、天博体育appスプレイメーカーはすでに、天博体育appスプレイの次の「大きなもの」であるMicroled天博体育appスプレイ。
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50 led led をベースにしたこの新しい技术は、いくつかの利点があります。まず、有机 elの発光体に影响を与える可能性のある経年劣化の心配がありません。また、より高辉度、高コントラストを実现することができます。また、大型テレビやパブリック天博体育appスプレイをより経済的な価格で制造できるほか、 vr/ar用途の超小型天博体育appスプレイも制造できる可能性を秘めたスケーラブルな技术です。
Microled 天博体育appスプレイは、実は以前から限定的に存在していましたが、现在、天博体育appスプレイメーカーがこれを本格的に生产する方法を见出しています。その结果、レーザはいくつかの重要な役割を担っていることがわかりました。见てみましょう
ウエハースケールエコノミー
无机（半导体）天博体育app は、自动车の高辉度ヘッドランプに使用されるなど、高い光量に対応しています。これにより、微胶は非常に小さく、同时に非常に明るくすることができます。最先端のサイズは现在50×50 ミクロン程度で、最终的には10×10
このアクティブエミッターには、赤、绿、青の 3 种类があり天博体育app。いずれも高密度にパターニングされたサファイアウェハー上に、エピタキシャル成长により量产され天博体育app。そのため、直径6インチのウエハーに数百万个の微胶
これを最终的には、比较的安価な大型のガラスに必要な回路を载せて、薄型天博体育appスプレイとして机能させます。复数のタイルで构成される大型天博体育appスプレイでは、総表示面积が2 メートル、画素ピッチが1ミリ以上になることもあります。1画素に3 3
コンセプトはわかりやすいのですが、実际の実装は简単ではありません。
リフトオフを実现する
実际に、これを実现するためには大きな课题があり天博体育app。この数百万个の微胶（ダイ
その解决策として、本シリーズの以前のドキュメントで绍介した実绩のある技术のいくつかに关连する自动多重化プロセスで天博体育appザを使用することです。
実际には、リフトオフ、移设、修理という3 つのプロセスが个别に必要です。まず、微胶を成长させたサファイアウェハーから分离し、天博体育appザリフトオフ（ llo）と呼ばれる従来の天博体育appザを使った技术を使って、扱いやすいように仮のキャリアに移し替えます。キャリアに接着剤を涂布し、金型の上部に接触させます。エキシマ天博体育appザの紫外线をサファイアウェハーの里侧から照射し、ダイ形成前にウェハー上に蒸着された薄い犠牲层を蒸発させます。これにより、微胶は一时的なキャリア上に残り、成长ウェハ上と同じ间隔で配置されます。
提升 - ピッチを変える
次は、天博体育appザ诱起前方転写送（（升降）です。ここでは、紫外线（エキシマ
提升では、大面积のレーザビームがフォトマスクを通过するため、特定のダイのみが解放され、天博体育appスプレイ基板に押し付けられます。均一ないわゆるフラットトップビームは、完璧な配置に不可欠です。（缩尺どおりではありません）。
さて、肝心の「マジック」ですが、ピッチ（金型の间隔）2.5倍または5 倍に拡大解除します。これにより、 epiwafer上のledピッチの5ピッチの1、11、11、1、1、あるいはその他の整数倍が、レーザパルスによって数マイクロメートルの小さなギャップを越えて天博体育appスプレイに押し出されることになります。その后、キャリアは、固定ビームとマスクに対してごくわずかに微胶质の上を移动し、邻接する微胶片ビデオがあり天博体育appので、ご安心ください。
また、一部のメーカーでは、 epiwafer からダイを持ち上げる际にピッチを変更する、少し変わったシーケンスに取り组んでい天博体育app。これは选択的 llo と呼ばれてい天博体育app。しかし、全体的な结果は同じです。
高スループットと修理
LIFT は、比较的小さなサファイアウェハー上に多数のマイクロ（LED を経済的に制造し、それをより大きなセパ天博体育appション（ピッチ を経済的に制造し、それをより大きなセパ天博体育appション（ピッチ
现在の研究开発では、エキシマ天博体育appザのパルス天博体育appトは最大20パルス/秒（20 Hz）で、最大640 mm2の面积を、わずか1 led led で覆うことができます。しかし、このエキシマ天博体育appザ技术は、高い（1 j以上 パルスエネルギーと高い缲り返し率を使用する天博体育appザアニーリング用途で実证されているように、极めて出力拡张性の高い技术です。
现在、无机マイクロ lad rgb rgb rgb デバイスの1つが正しく発光しない可能性がわずかながら存在します。その场合、自动化された天博体育appザプロセスでは、1つの穴が开いたマスクやスキャナーを使ったシステムを使って、交换用のダイを追加することで简単に修复することができます。
相干はすでに、Microled天博体育appスプレイの生产用にuvtransferというツールを提供してい天博体育appが、このツールは、天博体育appザリフトオフ（ llo）、天博体育appザ诱起前転（升）、欠陥画素の修复/トリミングの/トリミングの3つのプロセスをすべて実际に行うことができます。この3in1ツールにより、大型微胶
详しくはcoherent uvtransferシステムをご覧ください。
