UV
充分利用我们独特的高能天博综合体育app下载激光器，ltps，llo llo lift llo llo la-pld la-icp-ms等。
- 垂直整合使用我们寿命极长的天博综合体育app下载器、光学器件和机械，避免风险并享受全天候运行。
- 久经验证的工业工具依靠成就高性能移动显示屏的相同支持技术。
- 天博综合体育app下载光波长选项从193、248和308 nm系统以及自定义157或351nm选项中进行选择。
将我们的专业知识应用于天博综合体育app下载激光工艺
凭借在天博综合体育app下载激光器和光学系统领域50年的经验，我们了解管理、成型和聚焦准分子光束方面的挑战。得益于垂直整合，我们设计、制造和组装的完整系统能够满足严苛的标准。
uvtransfer
uvtransfer天博综合体育app下载器系统支持生产下一代microled显示屏的专用应用。
- 高吞吐量 -高能量准分子天博综合体育app下载器支持大型场尺寸。
- 面向未来 -50 µm一直到5µm的芯片尺寸。
- 从研发到批量生产的三个成套工艺解决方案。
lineBeam
lineBeam准分子天博综合体育app下载激光器有助于在大型基板上大规模制造低温多晶硅（LTPS）背板，良率极高。
- 长线光束-高达 -1500 mm。
- 高度均匀 -0.6％（2σ）。
- 大焦深 -高达±150 µm。
uvblade
uvblade准分子天博综合体育app下载器为llo提供了一种经济高效的解决方案，在线长度和能量密度方面具有较高的光学效率和广泛的可扩展性。
- 高度均匀 -1.8％
- 大焦深 -高达±200 µm。
- 高脉冲能量 -高达2000MJ
准分子光束传输光学部件
获取用于准分子光束传输的卓越的光学机械工具，针对高脉冲能量、短天博综合体育app下载光波长和高功率的独特组合进行了优化。
- 均匀光束-<±5％通量变化。
- 可变衰减 -精确的能量控制。
- 掩膜图像投影 -4-10
Variolas
VARIOLAS准分子天博综合体育app下载线激光器基于功能强大的COMPEX准分子激光器，适用于对线光束或方形光束场形状进行高质量天博综合体育app下载光微加工。
- 能量密度高-高达 -7.5 j/cm²。
- 多功能且可调节 -线或方形轮廓。
- 高光学分辨率-≥5µm。
geolasgc
geolasgc准分子天博综合体育app下载剥蚀系统融合了193nm 高脉冲能量、高性能极化显微镜和高清摄像头观测等众多功能特性，用于实现天博综合体育app下载剥蚀icp-ms。
- 高光学分辨率 -1 µm。
- 可变样本点 -2-2-160 µm。
- 高脉冲稳定性 -1％（rms）。
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