材料
反应烧结sic
供应几乎任何尺寸或形状的rb-sic组件，并可根据需要进行定制，包括高平整度、大渗透深度和内部冷却通道。
rb-sic 提供独特的物理特性组合（耐高温、低 cte 、化学惰性、高强度和强度重量比），适用于高压电子、半导体工具等应用。
反应烧结sic特性
从一系列针对各种机械、热和电气特性进行了优化的 rb-sic衬底材料中进行选择。
特性 |
SSC-702 |
SSC-802 |
SSC-902 |
SSC-HTC |
SSC-FG （细粒 sisic） |
HSC-702 （SI/SIC+Al） |
TSC-15 （SI/SIC + TI） |
RBBC-751 （B4C/SIC/SI） |
SICAM 700 |
SICAM 800 |
SIC 含量（体积％） |
70 |
80 |
90 |
78 |
70 |
70 |
80 |
70b4c 10SIC |
70 |
80 |
si含量（体积％） |
30 |
20 |
10 |
22 |
30 |
30 |
20 |
20 |
30 |
20 |
堆积密度（g/cc）[p] |
2.95 |
3.00 |
3.12 |
3.02 |
2.94 |
3.01 |
3.13 |
2.56 |
2.95 |
3.00 |
杨氏模量（gpa）[e] |
350 |
380 |
410 |
373 |
330 |
330 |
390 |
400 |
345 |
365 |
泊松比 |
0.18 |
0.18 |
0.18 |
0.2 |
0.18 |
0.19 |
0.19 |
0.18 |
0.185 |
0.185 |
抗弯强度（mpa） |
270 |
280 |
280 |
265 |
350 |
275 |
225 |
280 |
280 |
290 |
断裂韧性（MPA-M1/2） |
4 |
4 |
4 |
3.5 |
4 |
5 |
5 |
5 |
3.2 |
3.2 |
CTE （25-100°C（PPM/K） |
2.9 |
2.9 |
2.7 |
2.9 |
3 |
4.4 |
3 |
4.8 |
3.2 |
3.1 |
热导率（w/mk） |
170 |
180 |
190 |
255 |
150 |
200 |
210 |
52 |
177 |
185 |
比热（j/kg-k） |
680 |
670 |
660 |
670 |
680 |
700 |
670 |
890 |
686 |
674 |
比刚度（E/ρ） |
119 |
127 |
131 |
- |
112 |
109 |
125 |
156 |
117 |
122 |
热稳定性（K/α） |
59 |
62 |
70 |
- |
50 |
45 |
70 |
11 |
55 |
60 |
