天博综合app官网登录 准分子pld制备的优质薄膜提升了
天博综合app官网登录的效率

挑战

天博综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录和其他光电器件均可受益于具有器件兼容沉积方法的功能薄膜材料开发。，一项主要挑战是，将透明导电电极沉积在器件的敏感层上，例如金属卤化物钙钛矿天博综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录中的有机接触层。例如金属卤化物钙钛矿天博综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录中的有机接触层。通常可通过使用无机缓冲层来克服这个问题。特文特大学特文特大学特文特大学特文特大学特文特大学

解决方案

该小组利用248纳米高脉冲能量准分子天博综合app官网登录综合app官网登录器在4英寸晶片上进行PLD，成功地展示了在金属卤化物钙钛矿太阳能电池上重复沉积透明导电氧化物（TCO）薄膜。Morales-Masis解释道，“ PLD已经是一项成熟的技术，例如用于复杂的压电材料。compex天博综合app官网登录器的高稳定性（脉冲间能量稳定性和光束均匀性）

为了形成TCO薄膜，Morales-Masis团队使用了Twente固态技术（TSST）的pld系统，其中准分子天博综合app官网登录束在一个固体靶上来回扫掠，对要沉积到基板（安装在一个圆形平台上，该平台在沉积过程中不断旋转

结果

高沉积压力和pld Zr Zr Zr i in2O3 tco薄膜使半透明卤化物钙钛矿天博综合app官网登录呈现15.1％的功率转换效率。，证实了pld pld作为一种“低损伤”沉积技术的潜力[1] pld [2]，以利用pld [2]

[1] Y. Smirnov等人。doi：https：//doi.org/10.1002/admt.202000856
[2] V. Kiyek等人。doi：https：//doi.org/10.1002/admi.202000162

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