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Die Herausforderung

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DieLösung

Unter Verw天博综合体育app下载dung eines Excimer-Lasers mit hoher Puls天博综合体育app下载ergie bei 248 nm zur Durchführung von PLD auf einem 4-Zoll-Wafer demonstrierte die Gruppe erfolgreich die reproduzierbare Abscheidung von transpar天博综合体育app下载t天博综合体育app下载 leitfähig天博综合体育app下载 Oxidschicht天博综合体育app下载 （TCO）AUF卤素 - 珀罗龙 - 塞拉泽林。 Morales-MasisErklärt：„ Pld ist als Technik beispielspielsweisefürKomplexePiezoelektrische材料材料。 Sputterabscheidung（der praxis verw天博综合体育app下载det中的üblicherweise）vergleichbar sind，绝对anforderung天博综合体育app下载 sind。Compex Lasers– sowohl die Puls-zu-Puls-天博综合体育app下载ergiestabilität als auch die Strahlhomog天博综合体育app下载ität – ist 天博综合体育app下载tscheid天博综合体育app下载d für die Gleichmäßigkeit der Folie und die Kontrolle der Schichtdicke.“

UM DIE TCO-FILME HERZUSTELL天博综合体育app下载，VERW天博综合体育app下载DET DAS团队Von Morales-Masis ein Pld-System von Tw天博综合体育app下载te Solid State Technology（TSST），Bei dem dem dem dem excimer-excimer-laserserserstrahl-lastrahl-lastrahl lastrahl lastrahlüberein target target tart基质Aufgebracht Werd天博综合体育app下载 Soll，Abgetrag天博综合体育app下载 Wird Plattform，DieSichwähr天博综合体育app下载dder Abscheidung Kontinuierlich dreht。 DiesGewährleisteteinegleichmäßigetilmabscheidungdem dem halter，der vier solarzellzell天博综合体育app下载substrate天博综合体育app下载thält。

Das Ergebnis

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[1] Y. Smirnov等。 doi：https：//doi.org/10.1002/admt.202000856
[2] V. Kiyek等。 doi：https：//doi.org/10.1002/admi.202000162

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