Iccimer PLD创建用于改进天博体育的优质膜

挑战

天博体育和其他光电设备都可以从使用设备兼容的沉积方法的功能性薄膜材料的开发中受益。在几种类型的天博体育中，一个主要挑战是在设备敏感层顶部的透明导电电极的沉积，例如卤化物钙钛矿天博体育中的有机接触层。通常通过使用无机缓冲层克服这个问题。由莫妮卡·莫拉莱斯·马西斯（Monica Morales-Masis）领导的研究小组在温特特大学（University of Twente）调查了脉冲激光沉积（PLD）是否能够为无缓冲的半透明钙钛矿天博体育制造高质量透明电极。 （除了低损伤沉积外，基于晶圆的PLD是天博体育应用的要求。

解决方案

利用248 nm处的高脉冲能量激光激光器在4英寸晶片上执行PLD，该组成功证明了在Halide Perovskite solar solar细胞顶部的透明导电氧化物（TCO）膜的可再现沉积。 Morales-Masis解释说：“ PLD已经成为一种技术，例如对于复杂的压电材料而言。我们现在正在探索天博体育材料的技术，用于天博体育材料的技术，对于这种技术，至少具有溅射沉积（通常在现场中使用）的可伸缩率和PAR的可伸缩率是绝对的要求。的高稳定性。Compex Laser  - 脉冲到脉冲能量稳定性和梁均匀性 - 对于提供薄膜均匀性和紧密的层厚度控制至关重要。”

为了制作TCO膜，Morales-Masis团队使用了Twente固态技术（TSST）中的PLD系统，在该系统中，准二聚体激光束在固体目标上来回扫描，将其沉积在圆形平台上的材料倒流，该材料在圆形平台上持续旋转在deportion of deportion的圆形平台上。这样可以确保在包含四个天博体育底物的支架上均匀的膜沉积。

结果

高沉积压力和室温PLD生产的In2O3 TCO膜掺杂ZR胶片，使半透明的卤化物钙钛矿天博体育的演示具有15.1％的功率转换效率。这在无缓冲堆栈上证明了这一点，证实了PLD的潜力为“低损伤”沉积技术[1]。该小组现在正在开始对卤化物钙钛矿的PLD [2]的研究，以利用额外的PLD优势：多化合物材料的化学计量转移。创建这些卤化物钙钛矿膜的能力，没有溶剂，并且在几分钟之内在大面积上都可以实现天博体育的生产。

[1] Y. Smirnov等。 doi：https：//doi.org/10.1002/admt.202000856
[2] V. Kiyek等。 doi：https：//doi.org/10.1002/admi.202000162

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