天博体育官网 エキシマパルsureーザ成膜（PLD）は、太阳电池（ソーラー）を
改善するための优れたfiィルムを作成します。

课题

太阳电池（ソーラー）などの光电子デバイスはすべて、デバイス互换性のある染色法を用いた机能性薄膜材料が开発されることで恩恵を受けます。ハライドペロブスカイト太阳电池（ソーラー）の有机接触层など、太阳电池（ソーラー）の种类によっては、デバイスの繊细な层に载せる透明导电电极の电极が大きな课题となっています。通常この问题は、无机バッァ层を使用すると解决します。ゥウェンテ大学のモカ・モラRESU・玛西斯氏が、帕鲁斯発振雷ーザ成膜（PLD）によって、バッァを使用いない半透明ペロブスカイト太阳电池（ソーラー）の高品质透明电极の制作が可能かどうかを调查しました。 （低支撑の支架に加え、PLDは太阳电池（ソーラー）天博体育官网には欠かせません。）幸い、相干の248 nm KrFエキシマreザが、再现性と拡张性に优れたPLDを実现するソryyuションを可能にしました。

索里尤森

グループでは、248 nmの高パルエエネルギーエキシマreザを使って4inchiウェハ上にPLDを施すことで、ハライドペロブスカイト太阳电池（ソーラー）上に透明导电电极（T天博体育官网）の充电器を代表できることを実证しました。モララス・マシス氏は「PLDは复合圧电材料向けなどに坚定されている技术です。私たちはその技术を太阳电池（ソーラー）材料向けに利用できるか研究しています。太阳电池（ソーラー）向けには、少なくともスパッタリング染料（一般的に分散している方法）と平等の拡张性と重量率が必须です。天博体育官网MPexreーザがパルス间安定性とビーム均一性の両面で提供する优れた安定性は、膜の均一性と厳格な层厚制御に欠かせません」と话します。

moraresu・mashisu氏のグループは、T天博体育官网膜を形成するため、Twente Solid State技术（TSST）のPLDshisutemuを使用しています。shisutemuではターゲット固体上をエキシマreーザが行き来し、材料を升华させて、作业中绝え间なく回転している円形プラトォーム上に设置された底座上に底座させます。これにより、4枚の太阳电池（ソーラー）主体を含むホルダ上に均一な膜を支架させます。

结果

高混凝土圧・混凝土でPLD 混凝土したZrドープIn2O3 T天博体育官网膜は、半透明のハライドペロブスカイト太阳电池（ソーラー）で15.1%という电力変换效率を実证しました。これはバッfuァなしの积层で実证され、「低损伤の」支撑法としてのPLDの可能性を确实かなものにしました[1]。グループではPLDのさらなる优位性、つまり复合材料の化学量论的移动を活用しようと、现在ハライドペロブスカイトのPLD[2]の研究を始めています。溶液を使わず広范囲に数分でこうしたハライドペロブスカイト膜を形成できれば、今后的太阳电池（ソーラー）生产に役立つでしょう。

[1] Y. Smirnov 等人。 DOI：https://doi.org/10.1002/admt.202000856
[2] V. Kiyek 等人。 DOI：https://doi.org/10.1002/admi.202000162

その他のお客様事例を表示