エキシマパルス天博体育官网ザ成膜（ pld）を）を
改善するための优れたフィルムを作成し天博体育官网。

课题

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ソリューション

グループでは、248 nmの高パルスエネルギーエキシマ天博体育官网ザを使って4インチウェハ上にPLDを施すことで、ハライドペロブスカイト太阳电池（ソーラー）（TCO）（tco）（pldは复合圧电材料向けなどに确立されている技术です。）（PLDは复合圧电材料向けなどに确立されている技术です。）（（pldは复合圧电材料向けなどに确立されている技术です。）材料向けに利用できるか研究しています。太阳电池（ソーラー）向けには、少なくともスパッタリング堆积（一般的に普及している方法）compex天博体育官网ザがパルス间安定性とビーム均一性の両面で提供する优れた安定性は、膜の均一性と厳格な层厚制御に欠かせません」と话し天博体育官网。

モラレス・マシス氏のグループは、 tco twente固态技术（TSST）（tsst）のpld システムを使用しています。システムではターゲット固体上をエキシマ天博体育官网ザが行き来し、材料を升华させて、作业中绝え间なく回転している円形プラットフォーム上に设置された基板上に堆积させます。 システムを使用しています。システムではターゲット固体上をエキシマ天博体育官网ザが行き来し、材料を升华させて、作业中绝え间なく回転している円形プラットフォーム上に设置された基板上に堆积させます。 これにより、 システムを使用しています。システムではターゲット固体上をエキシマ天博体育官网ザが行き来し、材料を升华させて、作业中绝え间なく回転している円形プラットフォーム上に设置された基板上に堆积させます。基板を含むホルダ上に均一な膜を堆积させます。

成果

天博体育官网 Zr Zr Zr i in2O3 TCO 膜は、半透明のハライドペロブスカイト太阳电池（ソーラー）で15.1％という电力変换效率を実证しました。天博体育官网天博体育官网の可能性を确かなものにしました[1]。天博体育官网天博体育官网 天博体育官网 天博体育官网 天博体育官网 [2]の研究を始めています。（2]の研究を始めています。）

[1] Y. Smirnov等。 doi：https：//doi.org/10.1002/admt.202000856
[2] V. Kiyek等。 doi：https：//doi.org/10.1002/admi.202000162

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