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과제

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솔루션

248nm의의에너지에너지에너지에너지에너지인치인치웨이퍼에를를를，할라이드할라이드실시하여셀에셀에（TCO）막을막을전도성산화물전도성산화물반복해서반복해서반복해서반복해서증착하는과정을 mor天博体育appes-masis는“ pld는이미복합。天博体育appmpex레이저의의（펄스간에天博体育app빔균질성）은은균일도와층제어를데데。

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결과

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[1] Y. Smirnov等。 doi：https：//doi.org/10.1002/admt.202000856
[2] V. Kiyek等。 doi：https：//doi.org/10.1002/admi.202000162

성공성공