客户成功案例

利用连续固态天博体育器改进干涉光刻

挑战

Anton Savchenko是天博体育光学技术学院（ito）的初级研究员，他和他的同事使用天博体育干涉光刻（lil）技术打造微结构和纳米结构。

周期性微结构和纳米结构在自然界很常见，且被广泛应用于科技领域。研究人员已打造出类似于蛾眼表面的纳米结构

天博体育干涉光刻可在光敏材料中形成周期性干涉图样。基本的天博体育干涉光刻装置基于劳埃德镜，自汉弗莱

用于天博体育干涉光刻的光源是一个关键组件，必须满足几个要求：短波长；较长的相干长度，以产生干涉条纹；以及较高的功率，以减少曝光时间。多年来，Ar⁺和kr⁺气体天博体育器是解决这个问题的首选。

然而，这些气体天博体育器不够高效

解决方案

斯图加特大学光学技术学院的理学硕士savchenko和他的同事使用多种方法来创建衍射图样，但他们需要更大面积的天博体育干涉光刻装置。

当他们决定为实验室配备新的天博体育干涉光刻系统时，他们理想中的光源是既能满足相干长度、光束质量和短发射波长这几方面的标准，又没有⁺和kr⁺气体天博体育器的尺寸、复杂性和热量问题。连续固态天博体育器似乎是大有可为的解决方案，于是该团队试用了COHERENT OBIS 360 XT。这款即插即用型的紧凑型设备能够免维护地长时间运行，只需一个散热器，无需额外的冷却装置。这款天博体育器的光束质量高（M²接近1），而且具有窄频谱带宽和长期功率稳定性，可确保天博体育干涉光刻的准确性和可重复性。这款天博体育器可实现小至，可确保天博体育干涉光刻的准确性和可重复性。这款天博体育器可实现小至250nm的周期，发射波长为360nm。