お客様事例

天博体育app CW

课题

アントン・サフチェンコは、シュトゥットガルト大学光学研究所（ ITO）の初期段阶研究者です。彼は同僚らとともに、天博体育appザ干渉リソグラフィ（ lil）を用いてマクロ构造とナノ构造を作りました。

周期的なマクロ构造とナノ构造は自然界一般に见られ、技术面でも幅広く利用されています。研究者らは、光学系において不要な反射を抑制することができる蛾の目の表面に见られるものと似たナノ构造を作りました。ナノ周期构造のもう1つの例は回折格子で、これは分光から天博体育appザ光线の修正まで幅広い用途があります。こうした构造を正确かつ缲り返し构筑するのは难しいことです。サブミクロン単位の周期パターンを确実に作ることができる方法はほとんどありませんが、 lilはその限られた方法の1つです。

天博体育app は感光性材料に周期的な干渉パターンを作り出します。基本的なセットアップはロイドのミラーに基づいており、 1884 年に行われたハンフリー・ロイドの光の性质に关する研究からほとんど変わっていません。ロイドのミラー（図1）を使った天博体育app のセットアップは、以下のように动作します：光源からの光が空间フィルターを通り、伝搬の过程で光が膨张します。ミラーとサンプルは、セットアップの反対侧に垂直に取り付けられます。サンプル上の光がミラーから反射した光と干渉し、干渉パターンを作り出します。干渉パターンの周期は、光源の波长に正比例します。

天博体育app の光源は不可欠なコンポーネントで、次に挙げるいくつかの要件を満たしていなければなりません：短い波长、干渉フリンジを生み出す长いコヒーレンス长、露光时间を减らすための比较的高い出力。何年もの间、 ar⁺とkr⁺ガス天博体育appザがその答えでした。

残念ながら、これらのガス天博体育appザは效率的ではなく、极度の热を発し、水冷却と频繁なメンテナンスを必要とし、かさばります。アントン・サフチェンコと彼のチームは、この研究室で lilのより良いソリューションを必要としていました。

ソリューション

itoのサフチェンコ科学修士と彼のチームには回折パターンを作る方法がいくつかありましたが、より大きな面积の天博体育appのセットアップが必要でした。

研究室に新しい天博体育appシステムを导入することを决めたとき、彼らは、Ar⁺やkr⁺のガス天博体育appザのサイズ、复雑さ、热を伴わないコヒーレンス长、光线の质、短い放射波长という基准を満たす光源を探し求めました。CWCOHERENT OBIS 360 XTのテストを行いま天博体育app。このコンパクトなプラグアンドプレイデバイスは、メンテナンスフリーで动作し、ヒートシンク以外、他に冷却装置を必要としません。1に近いM²をもつこの天博体育appザの高品质な光线は、狭いスペクトルバンド幅と长期的な出力安定性とが结びつくことで、 lil 360 nmの放射波长で250nmまでの周期を実现できます。