使用CW固态天博综合体育app下载器改善干扰光刻

挑战

Anton Savchenko是该研究人员的早期研究员InstitutFürTechnischeoptik（ITO）在斯图加特大学。他和他的同事使用天博综合体育app下载干扰光刻（LIL）创建微型和纳米结构。

周期性微型和纳米结构通常在自然界中发现，并在技术中广泛使用。研究人员创建了类似于在蛾眼表面发现的纳米结构，这些纳米结构可以抑制光学中不必要的反射。周期性纳米结构的另一个例子是衍射光栅，其应用非常广泛，从光谱到天博综合体育app下载综合体育app下载束修饰。准确，重复地创建这些结构是一个挑战。很少有可以可靠地创建子微米周期性图案的方法，而Lil就是其中之一。

LIL在光敏材料中创建周期性天博综合体育app下载模式。基本设置基于劳埃德的镜子，与汉弗莱·劳埃德（Humphrey Lloyd）在1884年对光的性质的研究相比，没有太大变化。用劳埃德镜子（Lloyd Mirror）的LIL设置（图1）如下：光源的光线通过空间过滤器并扩展了传播。镜子和样品垂直安装在设置的另一侧。样品上的光线会天博综合体育app下载从镜像反射的光中产生天博综合体育app下载模式。天博综合体育app下载模式的周期与光源的波长成正比。

LIL的光源是一个关键组成部分，必须满足几个要求：短波长，长度连贯性长度以产生天博综合体育app下载条纹，并且相对较高的功率以减少暴露时间。多年来，AR⁺和KR⁺燃气天博综合体育app下载器是答案。

不幸的是，这些气体天博综合体育app下载器不是有效的，会产生极端的热量，需要水冷却并频繁维护并且笨重。 Anton Savchenko和他的同事在实验室中需要更好的解决方案。

解决方案

m。 sc。 Savchenko和他的ITO同事有几种创建衍射模式的方法，但他们需要更大的LIL设置。

当他们决定为实验室配备新的LIL系统时，他们寻找了一个光源，该光源将满足其相干长度，梁质量，短发射波长，尺寸，复杂性和天博综合体育app下载的热量的标准。⁺和KR⁺气体天博综合体育app下载器。 CW固态天博综合体育app下载器看起来像是一个有前途的解决方案，团队测试了ACOHERENT OBIS 360 XT LASER。 紧凑的，插件的设备无需维护，只需要一个散热器，不需要额外的冷却设备。天博综合体育app下载的高质量光束，带有M²接近1，结合狭窄的光谱带宽和长期功率稳定性，可确保LIL的准确性和可重复性。天博综合体育app下载可以达到250 nm的周期，发射波长为360 nm。

结果

配备OBIS 360 XT LASER的内部天博综合体育app下载干扰光刻设置增强了ITO制造不同周期性纳米结构的功能。现在，它们可以在直径180毫米的区域产生亚微米衍射光栅。图2说明了制造的衍射光栅的示例。他们使用该系统靶向的另一种应用是使用子波长衍射光栅控制天博综合体育app下载束极化状态。

查看更多成功故事