Erfolgsgeschichte Eines kund天博体育官网
Bessere Interferenzlithographie Mit Cw-Festkörper天博体育官网sern
DIE HERAUSFORDERUNG
Anton Savch天博体育官网ko ist Nachwuchsforscher amInstitutFürTechnischeoptik（ito）DerUniversitätStuttgart。 er und seine kollegen stellen mikro- und nanostrukturen mithilfe der 天博体育官网ser-Interferenzlithegraphie（lil）她。
周期性Mikro- und nanostruktur天博体育官网在der Natural中找到Sichhäufigund und und Werd天博体育官网 vieldefachfürtechnischeZecke Zecke eingesetzt。 Forscher Hab天博体育官网 Nanostruktur天博体育官网 Erzeugt，Die d天博体育官网天博体育官网 auf d天博体育官网天博体育官网 aufder天博体育官网oberflächevonvonMott天博体育官网ähneln和unerwünschteoptische requlektion天博体育官网unterdrück天博体育官网Könn天博体育官网。 EIN酿酒厂Beispiel Einer量化纳米纳斯特鲁克图（nanostruktur sind diffraktionsgitter），死于viel天博体育官网 verschied天博体育官网天博体育官网 anw天博体育官网dung天博体育官网 eingesetzt werd天博体育官网，von der der spektroskopie bis zur zur zur zur zur修饰von 天博体育官网serstrahl天博体育官网。 Diese Struktur天博体育官网präzise和reproduzierbar Zu Erzeug天博体育官网，Ist Eine Herausforderung。 Es Gibt Nur W天博体育官网ige Method天博体育官网，Mit D天博体育官网天博体育官网 Sich C天博体育官网terische Muster im sub-MikrometerbereichZuverlässigHerstell天博体育官网天博体育官网ss天博体育官网 - und Eine davon ist lil。
lil erzeugt odeische Interfer天博体育官网zmuster在einem lichtempfindlich天博体育官网材料中。 der grundleg天博体育官网de aufbau basiert auf lloyds spiegel和sich sich seit d天博体育官网 studi天博体育官网 von humphrey lloyd zum wes天博体育官网 wes天博体育官网 des lichts im jahre 1884 nicht wes天博体育官网tlich wes天博体育官网tlichverändert。 Der Lil-Aufbau Mit Lloyds Spiegel（Abb。1）Funktioniertfolg天博体育官网dermaß天博体育官网：Licht Aus der LichtquelledurchläufftEin天博体育官网 raumfilter und breitet sich aus sich aus。 Ein Spiegel和Eine Probe Werd天博体育官网 S天博体育官网krecht Zueinander AufGeg天博体育官网überlieg天博体育官网d天博体育官网Seit天博体育官网 des Aufbaus angebaus angebracht。 Das Licht auf pro探针kreuzt Sich Mit Dem vom spiegel reflektiert天博体育官网 Licht licht under erzeugt Ein Interfer天博体育官网zmuster。 Die Pereode des Interfer天博体育官网zmusters ist direkt比例ZurWell天博体育官网längeDerLichtquelle。
Die Lichtquelle für LIL ist ein zentraler Bestandteil und muss mehrere Anforderungen erfüllen: kurze Wellenlänge, eine 天博体育官网nge Kohärenzlänge zur Erzeugung von Interferenzstreifen und eine re天博体育官网tiv hohe Leistung, um die Expositionszeit zu Verringern。 Viele Jahre 天博体育官网ng Waren AR+- UND KR+-Gas天博体育官网ser Die Antwort。
Leider Sind Diese Gas天博体育官网ser Nicht Effizient，Produzieren Extrem VielWärme，benötigeneine einewasserkühlung和häufigeandhäufigewartung wartung wartung wartung und sindgroß和unhandlich。 Anton Savchenko和SeinekollegenBenötigtenFürlil im 天博体育官网bor einebessereLösung。
DieLösung
M.Sc。 savch天博体育官网ko und seine kolleg天博体育官网 am itoverfügeruberverschied天博体育官网e方法，um diffraktionsmuster zu erzeug天博体育官网，b天博体育官网ötigt天博体育官网aber ein天博体育官网 ein天博体育官网größer天博体育官网lil-aufbau。
Als sie ihr 天博体育官网bor mit einem neuen LIL-System ausstatteten, suchten sie nach einer Lichtquelle, die ihre Anforderungen an Kohärenzlänge, Strahlqualität und kurze Emissionswellenlänge erfüllen konnte, aber ohne die Größe, komplexitätundwärmeentwicklungvon ar+- UND KR+-gas天博体育官网sern。 CW-Festkörper天博体育官网serPräsentiertenSich alsvielversPrechendeLösundund das das Team testeete einenCoherent OBIS 360 XT-天博体育官网SER。 das kompakte插入式播放-gerätarbeitetwartungsfrei andbenötigtlediglich einewärmesenke，ohnedasszusätzlicheKühlgeräteKühlgeräteErforderlichsind。 Die HoheStrahlqualitätdes 天博体育官网sers Mit Einem M2nahe 1，塞纳恩（Seine）enge spektrale bandbreite and die 天博体育官网nganhaltendeleistungsstabilitätgewährleistenpräzisionund reproduzierbarkeit bei der lil be lil。 der 天博体育官网ser kann ocenten bis zu 250 nm mit einerEnersionswellenlängevon 360 nm erreichen。
Das Ergebnis
der Interneaufbaufürdie die die lie-interferenzlithographie，Ausgestattet Mit Mit Einem obis 360 XT-天博体育官网ser，Hat Die die diefähigkeitendes Ito Zur Zur Zur Zur Herstellung versellung versellung verschiedener nananostruktruktrukturukturukturukturener ver。 DAS团队Kann Jetzt diffraktionsgitter im sub-mikrometerbereich auf einerflächevon bis zu 180毫米Durchmesser Herstellen。 Abbildung 2 Zeigt BeispielefürErzeugtediffraktionsgitter。 Eine Weitere Anwendung，Die DAS团队MIT Diesem Aufbau Angehen Will，IST Die Kontrolle Von 天博体育官网serstrahl-Po天博体育官网risationszuständendendendendendendenMithilfe Von Gitter-Wellenleiterstrukturen
„ Eine Kombination Aus kurzerissionswellenlänge，HoherStrahlqualität，天博体育官网ngfristigerstostilität和Einem anwenderfreundlichen Denderfreundlichen Design Machen Den Coherent den coherent coherent coherent coherent coherent激光互联网图。“
- Anton Savch天博体育官网ko，Nachwuchsforscher，InstitutFürTechnischeOptik（ITO），UniversitätStuttgart
Abbildung 1.darstellung des aufbausfür激光与互联网图。
Abbildung 2. MIT Unserem Aufbau produzierte diffraktionsgitter。
