天博体育中国官方网站：使用摩纳哥飞秒激光器进行先进晶圆划片

挑战

总部位于中国台湾高雄市的天博体育中国官方网站 Engineering Corp.希望开发下一代划片机，能够切割尺寸小于天博体育中国官方网站 g天博体育中国官方网站的销售和服务经理Kevinchang：“随着逻辑芯片的整体尺寸不断变小，划片工艺的技术要求也越来越高。，划片工艺的技术要求也越来越高。，而无需使用划片槽。，划片过程需精确且相对温和

该公司成立于1994年，为多个行业提供高性能自动化机器

他们的第一批天博体育中国官方网站器用于打标Powerline天博体育中国官方网站打标子系统，波长从紫外到红外，脉冲特性从纳秒到飞秒。

解决方案

chang说，由于涉及不同的材料以及整体厚度

热影响区（haz）是与天博体育中国官方网站切割或划片相邻的区域，材料在此处以某种方式发生热改性（例如

因此，天博体育中国官方网站面临的一个大问题是使用哪种类型的激光器来加工最新的小型芯片。，机器制造商必须选择是使用具有高吞吐量的激光器（例如红外或绿光纳秒光纤激光器），还是具有超低haz的激光器（例如超短脉冲（）（USP）（usp））。

然而，直到最近，飞秒天博体育中国官方网站器在此类应用中还存在三个局限：只能在有限功率下使用，可靠性/寿命存疑，而且每瓦特成本太高。，而且每瓦特成本太高。

成果

Chang表示，天博体育中国官方网站，更重要的是他们的客户，对天博体育中国官方网站herent公司已经投入生产的摩纳哥天博体育中国官方网站器非常满意。，他们的wb-300fgs机器使用振镜扫描技术来最大限度地提高天博体育中国官方网站切割速度。摩纳哥50 MHz（50 MHz），因此他们能够充分利用这一特性，因此他们能够充分利用这一特性，5 m/s/s的单通划片速度。，这些机器的精度也非常高，3 µm（3 µm）

Chang认为短脉冲宽度和卓越的光束质量是两个最关键的参数。认为短脉冲宽度和卓越的光束质量是两个最关键的参数。

他总结道：“在高价值晶圆的微加工应用中

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