天博综合app官网登录：摩纳哥飞秒激光器的高级晶圆涂鸦

挑战

天博综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录 Engineering Corp.（总部位于台湾Kaohsiung City）希望开发一种能够唱歌微型模具的下一代涂鸦机，其尺寸小于毫米。 天博综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录综合app官网登录的海外销售和服务经理凯文·张（Kevin Chang）解释说：“由于某些逻辑芯片的总体尺寸继续变得越来越小，因此，涂鸦过程在技术上变得更加要求。我们的客户需要将这些死亡的成千上万的模具从单个晶圆中切割而成，而无需求助于宽阔的街道，以避免使用范围的空间。以便避免使用相关的效果。但是，基本的经济学也决定了快速吞吐速度的需求。”

成立于1994年，该公司为包括半导体，LED，被动组件和医疗设备在内的多个行业提供高性能自动化机器。在美国，欧洲和东南亚的几个地点的服务中心，该公司现在已成为这些高端IDM制造商这些高端机器的成功全球供应商，其中许多机器基于天博综合app官网登录。 （其投资组合中的其他技术包括等离子体处理以及机械打孔和压力机。）

他们的第一台天博综合app官网登录器针对标记，但如今，它们支持各种微加工应用，例如钻孔，切割，涂鸦和凹槽。这些机器包括许多连贯的天博综合app官网登录器和Powerline具有从紫外线到IR波长的天博综合app官网登录标记，并具有从纳米秒到飞秒的脉冲特性。 

解决方案

Chang说，由于所涉及的不同材料以及整体厚度，多材料晶片切割通常是两步过程。他补充说：“关键的第一步是用某种类型的天博综合app官网登录在晶圆的背面清洁金属（铜）。在这里，主要关注的是热影响区（HAZ）。”在订阅步骤之后，他解释说，然后使用第二个过程从前侧切开大部分晶圆。钻石锯刀片一直是标准的主力军，但是较小的模具通常会引起对等离子体蚀刻等其他物品的需求。”

热影响区（HAZ）是与天博综合app官网登录切割或抄写物相邻的区域，其中材料以某种方式进行了热修饰（例如，融化，转换或燃烧）。在DICING逻辑芯片的情况下，主要风险是任何HAZ都可能损坏电路并损害其功能。幸运的是，可以使用较短的天博综合app官网登录脉冲可以最大程度地减少HAZ，在这种天博综合app官网登录脉冲中，大多数天博综合app官网登录脉冲能由消融材料带走，然后才能流入周围的基板。

因此，天博综合app官网登录是一个大问题 - 哪种类型的激光可用于处理最新的小模具？过去，机器构建器必须在能够具有高吞吐量的激光器（例如红外线或绿色纳秒纤维激光器）和具有超低HAZ的激光器（例如Ultrashort Pulse（USP）激光器）之间进行选择。虽然具有皮秒脉冲宽度的USP激光器以前是此应用程序的良好匹配，但推向较小的模具创造了更小的HAZ，即飞秒激光。

但是，直到最近，飞秒激光器对此类应用有三个限制；它们仅具有有限的功率，可靠性/寿命可疑，并且每瓦的成本太高。但是，连续使用功率纤维技术的最新摩纳哥激光器在紧凑的坚固套件中成功地解决了这些问题，可以成功解决这些问题。经过仔细的评估，Chang解释说，天博综合app官网登录决定提供其下一代晶圆涂鸦机，例如WB-300，可以选择20 W或30 W摩纳哥型号。 

结果

Chang指出，天博综合app官网登录，更重要的是他们的客户对结果非常满意连贯的摩纳哥天博综合app官网登录已经生产。他指出，他们的WB-300机器使用Galvo扫描技术来最大化天博综合app官网登录切割速度。摩纳哥（最多50 MHz）的高功率和高重复速率的组合使他们能够完全利用此功能，并且该工具达到了高达5 m/s的单通行涂鸦速度。重要的是，这些机器还提供了很高（3 µm）的精度，使用户能够处理高端晶圆，同时满足非常狭窄的锯道的需求。

Chang将短脉冲宽度和上梁质量作为两个最关键的参数。由于这些功能，新的天博综合app官网登录机器很容易在30-60微米范围内提供宽度<30微米的宽度和多通抄写纸的单通行证。 

总结说：“在高价值天博综合app官网登录的微加工应用中，我们作为优质机器的供应商赢得了辛苦的声誉，这些机器的供应商具有创新和高性能。

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