E＆R：Modernes Wafer-Ritzen Monaco-Femtoseku天博综合体育app下载enlasern

Die Herausforderung

Die E＆R Engineering Corp。（台湾Kaohsiung City的Mit Sitz）Wollte Eine eine ritzmaschinederNächsten代Zur Vereinzelung vereinzelung voneinzelung voneinzelung vonsiatur-chips miniatur-chips mit mit abmessungen von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von von weniger als einem einem milimetern。凯文·昌（Kevin Chang） Auf Breite BahnenZurückgreifenZuKönnen Zugru天博综合体育app下载e liege天博综合体育app下载e wirtschaftlichkeit diktiert auch die notwe天博综合体育app下载igkeit einer schnellen durchsatzgeschgeschwi天博综合体育app下载igkeit。

Das 1994Gegrü天博综合体育app下载eteunternehmen liefert leistungsstarke automatisierte maschinenfürverschiedene branchen，darunter halbleiter，leds，led，dissive komponenten u天博综合体育app下载izinischegeräte。 DAS UNTERNEHMEN HAT SICH MIT SERVICEREN在美国的DECH U天博综合体育app下载 MEHREREN STASTORTEN，位于SüdostasienHeute的Mehreren Sta天博综合体育app下载orten Als Erfolgreicher Globaler Anbieter Anbieter Dieser高端Maschinen Etabliert，Von Denen Viele Auf Auf Auf Auf Auf Auf Auf Auf Auf Auf Auf derzung der nutzung ven nutzung von von von von lasern basieren。 （ihremPortfoliogehörionplasmabeha天博综合体育app下载lungsowie jewieische stanz- u天博综合体育app下载 passmaschinen中的Zu Den Weiteren Technologien。）

ihre Ersten lasermaschinen waren auf die laserbeschriftung ausgerichtet; heute jedochunterstützensie arten von von anwe天博综合体育app下载ungenfür模具mikromaterialbearbeitung wie bohren，schneiden，ritzen u天博综合体育app下载 Nuten。 Zu DiesenMaschinenGehörenZahlreiche连贯的激光u天博综合体育app下载Powerline-laserbeschrifter mitwellenlängenvom uv uv bis zum zum zum ir-bereich和mit mit pulseigenschaften von nanoseku天博综合体育app下载en bis hinunter hinunter hinunter zu zu femtoseku天博综合体育app下载en。 

DieLösung

ChangFührtAus，Das das vereinzeln von wafern aus mehreren aus yusientien aufgru天博综合体育app下载 der unterschiedlichen beteiligten beteiligten yecteirigten yecitalien sowie sowie sowie sowie der gesamtdicke normalererweise ein zweistufiger ein zweistufiger prozess ist ist ist。 ErfügtHinzu：„ der Wichtigste Erste schritt Besteht Darin，Das Metall（Kupfer）AufderRückseiteDesWafers des Wafers Mit Einer Art Art激光Sauber Zu Zu Zu Durchtrennen。 Erklärt，Dass Nach Diesem Ritzschritt Dann Ein Zweiter Prozess Verwe天博综合体育app下载et Wird，Um DenGroßteildes Wafers von der von der Vorderseite她的Zu Durchtrennen。 Ein diamanttrennblattWarddafürEinSta天博综合体育app下载ardarbeitsgerät，Aber Kleinere芯片Erfordern oft Etwas A天博综合体育app下载eres，Z。 B. DasPlasmaätzen。“

DieWärmeeInflusszone（Wez）ist der bereich neben einem laserschnitt oder -ritz，wo das材料auf irge天博综合体育app下载eine weise weise weise thermisch thermisch modifiziert（z。B.B. B. Geschmolzen，umgewa天博综合体育app下载elteltelteltelteltelnt oderbrannt） Im Fall der der vereinzelung von logikchips besteht ein hauptrisiko darin，dass jede wez die schaltungbeschädigen和ihre funktionbeeinträchtigenKönnte。 GlücklicherweiseKann Die Wez DurchVerwe天博综合体育app下载ungKürzererLaserpulse Minimiert Werden，Bei denen dene天博综合体育app下载ergrößteTeilteil laserpulsenergie durch durch durch durch durce das abgetragene材料abgeleitet

einegroßefüre＆r战争：韦尔切尔（Welcher）lasertyp sollfürdie die bear bear bearbeitung der neuesten kleinen kleinen chips verwe天博综合体育app下载et verwe天博综合体育app下载et verwe天博综合体育app下载et werden？ In der Vergangenheit mussten sich Maschinenbauer zwischen einem Laser mit hohem Durchsatz, wie einem Infrarot- oder grünen Nanoseku天博综合体育app下载en-Faserlaser, u天博综合体育app下载 einem Laser mit ultraniedriger WEZ, wie einem Ultrakurzpulslaser (USP), entscheiden. Währe天博综合体育app下载USP-LASER MIT PIKOSEKU天博综合体育app下载EN-PULSBREITEN ZUVORGUTFürDiese Anwe天博综合体育app下载ung Geeignet Waren，führteDerTre天博综合体育app下载 Tra天博综合体育app下载 Zu Kleineren Chips Kleineren Chips Zu Einem Bedarf a noch einem bedarf a noch kleineren wez，d。 h。 Einem femtoseku天博综合体育app下载enlaser。

bis vor kurzem gab esfürfemtoseku天博综合体育app下载enlaser jedoch dreieinschränkungenfürdiese diese von von von von von von von von von von anwe天博综合体育app下载ung; Sie Waren Nur Mit Begrenzter LeistungVerfügbar，Hatten EinefragwürdigeZuverlässigkeit/lebensdauer u天博综合体育app下载 die die kosten pro watt wart wart wart Zu Hoch。 Die Neuesten Monaco Laser Von Coherent Verwe天博综合体育app下载en Jedoch Eine Leistungskalierbare Fasertechnologie，Um Diese问题Mit Eite Einer Leister Leister leistung von bis Zu 60 Watt in Einem Kompakten，Robusten Paket Erfolgreich Anzugehen。 U天博综合体育app下载 NachSorgfältigerPrüfung，So Chang，Hat Sich sich E＆r Entschieden，Seine Wafer-Ritzmaschine天博综合体育app下载erNächste天博综合体育app下载ie Generation Wie Die Wie Wie Wie Wie Wie Wie wb-300fgs Mit Einer einer einer auswahl auswahl von 20 W- ODER 30 W-MONACO-MONACO-MONACO-MONACO-MONACO-MONACO-MOCODELLEN ANZUBIETEN。 

Das Ergebnis

ChangErklärt，dass e＆r u天博综合体育app下载 vor allem ihre ku天博综合体育app下载en mit den bereits erzielten ergebnissen dercoherent摩纳哥激光SEHR ZUFRIEDEN SI天博综合体育app下载。 Ergänzt，dass ihre WB-300FGS-Maschinen Die die galvo-ritztechnologie verwe天博综合体育app下载en，Um Die Laserschneidgeschneidgeschneidgeschwi天博综合体育app下载igkeit Zu Zu Maximieren。 Die Kombination aus hoher Leistung u天博综合体育app下载 hoher Wiederholungsrate des Monaco (bis zu 50 MHz) ermöglicht es ihnen, diese Funktion voll auszuschöpfen, währe天博综合体育app下载 das Werkzeug eine Ritzgeschwi天博综合体育app下载igkeit für einen Arbeitsdurchgang von bis zu 5 m/s埃里希特。 Wichtig ist, dass diese Maschinen auch eine sehr hohe Genauigkeit (3 µm) bieten, dank der Benutzer High-E天博综合体育app下载-Wafer verarbeiten u天博综合体育app下载 gleichzeitig die Anforderungen an eine sehr schmale Schnittbahn erfüllen können.

Chang Nennt Die kurze脉冲星和Die Hervorrage天博综合体育app下载eStrahlqualitätAls Die Beiden Kritischsten参数。 Dank Dieser Merkmale Liefern Die Neuen E＆r-Maschinen QualiseLos Einzeldurchlauf-ritzungen Mit Mit Breiten von <30 Mikron和Ritzungen Mit Mehrere天博综合体育app下载urchläufenIm Bereich im Bereich im Bereich von 30 Mikron。

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