天博体育官网：摩纳哥フェムト秒レーザを使用した先进のウェハスクライビング

课题

天博体育官网 エンジニアリングコーポレーション（本社：台湾、高雄市）は1mmに満たない微细なダイを个片化できる次世代スクライビング装置を开発したいと考えていました。天博体育官网 でセールスおよびサービスマネージャーを务めるケヴィン・チャン氏は次のように述べています。「ロジックチップの小型化が进むにつれて、スクライビングプロセスに対する技术的な要求がますます厳しくなっています。 でセールスおよびサービスマネージャーを务めるケヴィン・チャン氏は次のように述べています。「ロジックチップの小型化が进むにつれて、スクライビングプロセスに対する技术的な要求がますます厳しくなっています。 でセールスおよびサービスマネージャーを务めるケヴィン・チャン氏は次のように述べています。「ロジックチップの小型化が进むにつれて、スクライビングプロセスに対する技术的な要求がますます厳しくなっています。 その一方で根本的な経済状况により、高いスループット速度も要求されます」。

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天博体育官网 の最初のレーザ装置はマーキング用でしたが、今日ではドリリングや切断、スクライビング、​​沟加工など、あらゆるマイクロマシニング用途に対応しています。 uv uv irまでの波长を持ち、ナノ秒からフェムト秒までのパルス特性を备えた coherentレーザおよびPowerline天博体育官网ザマーカーが多数あります。

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全体的な厚みに加え、素材も多様であるため、复数素材のウェハのダイシ天博体育官网は通常2（2 段阶のプロセスで行っていると、チャン氏は述べます。 段阶のプロセスで行っていると、チャン氏は述べます。）（haz）（haz）です」。このスクライビ天博体育官网のステップ后、2 2

熱影響部（HAZ）は、天博体育官网ザ切断やスクライブに隣接し、材料が何らかの方法で熱的に変化する（溶解、変形、燃焼などが発生する）領域です。 ロジックチップをダイシングする場合、主なリスクはHAZが回路に損傷を与え、その機能が損なわれることです。 幸いなことに、波長の短い天博体育官网ザパルスを使用することで、天博体育官网ザのパルスエネルギーの大部分は、周囲の基板に流れ込む前に、アブ天博体育官网ションされた材料に照射されるため、HAZの領域を最小限に抑えることができます。

そのため、天博体育官网 にとっての大きな课题は、最新の小型ダイを加工するにはどのようなレーザを使用すればよいかということになりました。 にとっての大きな课题は、最新の小型ダイを加工するにはどのようなレーザを使用すればよいかということになりました。 にとっての大きな课题は、最新の小型ダイを加工するにはどのようなレーザを使用すればよいかということになりました。 にとっての大きな课题は、最新の小型ダイを加工するにはどのようなレーザを使用すればよいかということになりました。

しかし、従来のフェムト秒レーザには、出力に限界がある、信頼性や寿命に悬念がある、ワットあたりのコストが高すぎるという3つの欠点がありました。摩纳哥の最新型の摩纳哥60 ワットの高出力を收めることで、これら3つの问题を解决しました。天博体育官网 では、入念な评価を行ったうえで、20 w 30 w 30 w 3 30wの摩纳哥WB-300FGS

成果

coherent摩纳哥天博体育官网ザがすでにもたらしている成果に、天博体育官网、そして何よりも天博体育官网 r のお客様が非常に満足していると、チャン氏は述べます。天博体育官网 天博体育官网 wb-300fgsマシンがガルボスキャニング技术を用いてレーザ切断速度を最大化している点を强调しています。摩纳哥50 MHz）の组み合わせを実现したことで、この特徴を最大限活かすことが可能になり、搭载されているツールは最大5 m/秒のシングルパススクライビング速度で动作します。3µm（3 µm））

チャン氏が最も重要な2 つのパラメータとして挙げているのが、短いパルス幅と优れたビーム品质です。 つのパラメータとして挙げているのが、短いパルス幅と优れたビーム品质です。 つのパラメータとして挙げているのが、短いパルス幅と优れたビーム品质です。 つのパラメータとして挙げているのが、短いパルス幅と优れたビーム品质です。 つのパラメータとして挙げているのが、短いパルス幅と优れたビーム品质です。＆r の新型装置は、30 ミクロン未満の幅のシ天博体育官网ルパススクライブと、30 ～60

チャン氏は最后に「高価値のウェハのマイクロマシニング用途において、当社は、革新性と高い性能を备えた最高品质の装置を提供するサプライヤーとして高い评価を得ています。天博体育官网もこれらの分野すべてで确実に成果をあげています」と结んでいます。

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