脉冲天博体育沉积(PLD)
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越来越多的技术和行业范围依赖于薄膜,包括OLED显示器,MEMS,半导体,光伏,医疗传感器,移动电话和高级电池。 PLD通常是选择的生产方法,因为它与像钻石样碳(DLC),Perovskites,Piezoelectrics和高温超导体(HTS)一样多样化。在所有这些情况下,我们的准分子天博体育器可以具有高速,精确的深度控制和高保真化学计量的PLD。

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用于薄膜设备的高功率准分子天博体育器,solmates,enschede
使用高功率,LEAP系列先进天博体育器,Arjen Janssens及其同事,荷兰恩斯切德(Enschede),荷兰开发了创新的脉冲天博体育沉积设备,该设备将在未来的芯片设计和新薄膜材料的整合的开发中发挥关键作用。在薄膜行业中了解有关天博体育技术的更多信息。
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