재료

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天博综合app官网登录天博综合app官网登录열고유하게재료로반도체장비의열안정성을。

相干cogentum cogentum天博综合app官网登录매트릭스설계자에게장비의성능을개선하고집적회로가공및기술의문제를。

cogentum속성

가로2M,세로2M2m크기크기구조물에수다양한。

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congentum®

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밀도(g/cc)[ρ]

2.78

2.80

2.96

푸아송비

0.29

0.29

0.25

탄성계수 -GPA [E]

125

143

200

CTE평균20-100ºC(ppm/k)[α]

15

12

11

열전도율(w/m-k)[k]

160

164

160

비열(j/kg-k)

820

800

730

인장강도(MPA)

370

320

340

파괴파괴(MPA-M1/2

15

13

13

감쇠계수(%zeta)

0.26

0.26

0.58

비강성(E/ρ)

45

51

68

온도(k/α)

11

14

14