光学器件
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材料规格 |
|
材料 |
同质：linbo3 |
材质质量 |
气泡或夹杂物<100μm 数量<8，30 <<气泡大小<100μm |
方向 |
y切±0.2° |
密度 |
4.65 g/cm3 |
居里温度 |
1142±1 |
透明度 |
450-700 nm> 95％（10 mm（10 mm） |
制造规格 |
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直径 |
150 mm±0.2 mm |
厚度 |
350μm±10μm |
平坦度 总厚度偏差（ttv） 局部厚度偏差（ltv） 弯曲度 粗糙度 |
<1.3μm 翘曲度<70μm @ 150 mm晶圆 <70μm @ 150 mm晶圆 rq≤0.5nm（afm的rms值 |
表面质量 |
40-20 |
颗粒 |
不可去除颗粒： 100-200μm≤3个颗粒， 20-100μm≤20个颗粒 |
芯片 |
<300μm（全晶圆，无除外区） |
裂纹 |
无裂纹（全晶圆） |
污染 |
无不可去除污渍（全晶圆） |
并行度 |
<30角秒 |
方向参考平面（ X |
47±2 mm |
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光学制造能力
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