광학
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소재 |
|
재료 |
일치성：linbo3 |
소재 |
기포함유물<<100μm 수량<8，30μm <기포<<100μm |
방향 |
y컷±0.2° |
밀도 |
4.65G/cm3 |
퀴리 |
1142±1 |
투명도 |
> 450〜700nm에서10mm두께의95％ |
제조 |
|
직경 |
150mm±0.2mm |
두께 |
350μm±10μm |
편평도 TTV（总厚度变化） LTV（本地厚度变化） 보우 거칠기 |
<1.3μm 워프<70μm @ 150mm웨이퍼 <70μm @ 150mm웨이퍼 RQ≤0.5nm（AFM별rms값） |
표면 |
40-20 |
파티클 |
비분리성： 100-200μm≤파티클3개， 20-100μm≤파티클20개 |
칩 |
<300μm（제외제외없는） |
균열 |
균열균열（전체） |
오염 |
비분리성비분리성（전체） |
병렬 |
<30각초 |
방향기준（x축） |
47±2mm |
관련
광학제조
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