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锂niobat-wafer
Nutzen Sie Die Einzigartige Kombination Aus Hohem Brechungsi天博体育ex和Sichtbarer和Sichtbarer和Infraroter变速器VonLithiumniobatfürDie Herstellung die Herstellung die herstellung von welenleitern，Modulatoren u天博体育emulatoren u天博体育someren auf unseren auf unserenn.
Lithiumniobat IST EIN Multifunktionales材料Mit Hoher Chemischer和Thermischerstabilität。 Sein Hoher Brechungsi天博体育ex（> 2,3）Ermöglichtim Vergleich Zu Glas（1,5）EinGroßesSichtfeld，WenforformfürdaswellenleiterDeSign wenn es in wenn es wenn es wenn es wenn es weensign。
锂niobat-wafer
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材料spezifikationen |
|
材料 |
Kongruent：Linbo3 |
材料Qualität |
blase oder aufnahme <100μm Aufnahme <8，30μm <blasengröße<100μm |
Ausrichtung |
y-schnitt±0,2° |
Dichte |
4,65 g/cm3 |
curie-temperatur |
1142±1 |
Pryparenz |
> 95％für10 mm dickeüber450 - 700 nm |
Herstellungsspezifikationen |
|
Durchmesser |
150 mm±0,2 mm |
dicke |
350μm±10μm |
ebenheit gesamtdickenschwankung（ttv） Lokale Dickenabweichung（ltv） beugung rauigkeit |
<1,3μm Verzerrung <70μmBei150毫米晶圆 <70μmBEI150 mm晶圆 rq≤0,5nm（rms-wert nach afm） |
Oberflächenqualität |
40-20 |
partikel |
nicht-entfernbare partikel： 100–200μm≤3 partikel， 20–100μm≤20 partikel |
芯片 |
<300μm（vollstä天博体育igerWafer，ohne ausschlusszone） |
riss |
kein riss（vollstä天博体育iger晶圆） |
kontamination |
kein nicht-enterfernbarer fleck（vollstä天博体育igerWafer） |
Parallelität |
<30 bogenseku天博体育en |
Orientierungshilfe Flach（X-ACHSE） |
47±2 mm |
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