新天博体育中国官方网站工艺可在低温下快速生成超硬dlc薄膜

挑战

类金刚石（天博体育中国官方网站）碳被广泛用于形成高耐磨涂层。，当前的天博体育中国官方网站涂层方法存在各种缺点。，（ta-c）（ta-c）是一种理想的无氢天博体育中国官方网站材料，（> 40 gpa）和低摩擦而闻名。

解决方案

开发成功的低温生产方法的关键是，结合以下两种基于天博体育中国官方网站的工艺：脉冲天博体育中国官方网站沉积（pld）和退火。grüttner解释道，“基于天博体育中国官方网站的pld是一种众所周知的工业工艺，用于生产功能性薄膜，例如高温超导薄膜。，例如高温超导薄膜。，它还可以用于低温基材。，当，当pld 工艺（或任何其他工艺）

grüttner及其同事们解决了这个问题，并使用两个相干公司lap天博体育中国官方网站激光器制造了残余应力低至0.1 gpa 的厚（微米） ta-c。，通过调整激光参数，该团队能够改变由此产生的薄膜硬度、杨氏模量和内应力消除量。，确保实现出色的附着力和非常坚硬的顶层。，

结果

米特韦达团队使用可选沉积参数，70 GPA的硬度和700至800gpa的杨氏模量，从而极大地提高了操作耐磨性。<100 nm的低平均表面粗糙度（ra）和低摩擦系数（≤0.1），，grüttner总结了天博体育中国官方网站激光器的优势

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