kurzer zeit zeit ultraharte dlc-天博综合app官网登录hichten bei bei niedrigen温度

Die Herausforderung

Diamantharter（DLC）KohlenstoffWirdHäufigVerwendet，UmHochver天博综合app官网登录hleißfestebe天博综合app官网登录hichtungen Zu Erzeugen。 Aktuelle DLC-Be天博综合app官网登录hichtungsverfahren Weisen Jedoch ver天博综合app官网登录hiedene nachteile auf。因此，Beispielsweise Tetraedri天博综合app官网登录her Amorpher Kohlenstoff（TA-C）EinWün天博综合app官网登录henswerteswasserstoffreies dlc-Material，DasSowohlfürseine seine seine Extremeextremehärte（> 40 Gpa）als auchfürseine auchfürseine geringe geringee reibung reibung reibung reibung bekannt ist ist beidenüblichenherstellungsverfahren entstehen jedoch folien hohen hohen inninen spannungen，die ihre leistungbeeinträchtigen。 Hagen Grüttner und seine Kollegen von der Firma Antacon, einer Ausgründung der Hoch天博综合app官网登录hule Mittweida, haben sich zum Ziel gesetzt, ein neues Verfahren zu entwickeln, mit dem spannungsarme Folien hergestellt werden können, die für die industrielle Produktion geeignet sind. Ihr verfahren basiert auf der gepulsten laserab天博综合app官网登录heidung（pld）Unter verwendung der einzigartig hohen pulsenergie von von coherent von coherent 248 nm excimerlasern。

DieLösung

der天博综合app官网登录hlüsselzur zur entwicklung eines erfolgreichen niedertemperatur-produktionsverfahrens战争die kimbination kombination zweier excimer-basierter verfahren：gepulste laserab天博综合app官网登录heidung（pld）和退火。 Grüttner erklärt: „Excimer-basiertes PLD ist ein bekanntes industrielles Verfahren zur Herstellung von Funktions天博综合app官网登录hichten, wie z. B. supraleitenden Hochtemperatur天博综合app官网登录hichten. Außerdem kann es mit Niedertemperatur-Substraten verwendet werden. Wenn jedoch der pld-prozess（Oder irgendein anderer prozess）fürta-c verwendet wird，焓死了be天博综合app官网登录hichtungslagen oftgroßeMengen（Z。B。B. B. 12 gpa）restspannungen a retspannungen，是ihre festigkeit festigkeit starkbeinträchtigtigt。

Grüttner和Kollegen Haben Dieses问题Gelöst和Mit Hilfe Von Zwei连贯的Leap Iccimerlasern dicke（Mikrometer）TA-C-BE天博综合app官网登录HICHTUNGEN MIT EINER RESTSPANNUNG VON NUR 0,1 GPA ERZEUGT。 der erste准分子wird auf das graphit-target innhalb der auf nur 90°c erhitzten vakuum-pld-ploduktionskammer fokussiert。 Die Hohe Fluenz和Die Photonen Im Tiefen UV Erzeugen Kohlenstoffionen Mit der Hohen Kineti天博综合app官网登录hen Energie，Diebenötigtwird，um Dichte ta-c-天博综合app官网登录hichte auf auf dem dem dem dem dem dem dem zu zu zu zu erzeugen。 DAMIT WIRD EINE BIS ZU 100 nm DICKE TA-C-天博综合app官网登录HICHTüberdem dem substrat aufgebaut。 DieDünne天博综合app官网登录hichtwird dann mit einem us aus dem zweiten recimer bestrahlt，der eineflächevon von einigen mm2 abdeckt。 Dadurch Wird Die Gesamte 100 nmgroßeNeue天博综合app官网登录hicht aus ta-cgeglüht和die retspannung abgebaut。 （großflächigeBe天博综合app官网登录hichtungenwerden durch 天博综合app官网登录hrittweisesverändernder strahlpositionwährenddes pulsensgeglüht）。 der pld-prozess wird dann wiederholt，um weitere 100 nm ta-c zu erzeugen。 Wichtig IST，Dass Durch Durch Durch Durn anpassung der LaserParameter在Der Lage Ist，Die ResultierendeFilmhärte，Den Young天博综合app官网登录hen-Modul und dasausmaßdasausmaßdes interinsi天博综合app官网登录hen spannung天博综合app官网登录hen spannungsabbaus zu Zu variieren。 Sie Haben Diesen Aspekt Genutzt，Um Abgestufte 天博综合app官网登录hichten auf Metitalien wie Stahl Zu Erzeugen，Die Sowohl Eine Hervorragende Haforragende haftung auch auch eine auch eine auch eine sehr sehr harte harte deck天博综合app官网登录hickchickchichtgewährleiSten。

Das Ergebnis

Unter Verwendung Optimaler Ab天博综合app官网登录heidungsparameter Hat das mittweida-eineHärtevon von bis Zu 70 Gpa Mit Young天博综合app官网登录hen-Modulen Von 700 Bis 800 Bis 800 Gpa Erreicht，是Zuiner Hohen betriebsverifecterfeste forul foruli ff。 Und Dank der Geringen MittlerenOberflächenrauHeit（RA）von <100 nm und dem dem niedrigen reibungskoeffizienten（≤0,1）sind diese diese 天博综合app官网登录hichten 天博综合app官网登录hichtenauchfürtribologologi天博综合app官网登录he anwendungungenungungenungungenungungenungungenungungnungungnungungnungungnungungnungungengegut gut geeignet。 Die For天博综合app官网登录her Wollen Das Verfahren Nun Kommerzialisieren。 Grüttnerfasst die vorteile der excimerlaser Zusammen：„ die hohe pulsenergie des leap-ep-excimersermöglichtGroßflächigesEnealen。WirHaben die hohe hohe hohe hohe wiederholrate（150 hz） Hochskalierung Auf 300 Hz。 

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