新しいエキシマ天博综合体育中国官方网站ザ加工により、超硬 dlc膜の低温制作が迅速化

课题

天博综合体育中国官方网站）天博综合体育中国官方网站 天博综合体育中国官方网站コーティング方法にはさまざまな欠点があります。コーティング方法にはさまざまな欠点があります。> ta-c> 40 gpa（40 gpa）天博综合体育中国官方网站 天博综合体育中国官方网站材料です。材料です。材料です。しかし、一般的な制造方法では、内部応力の高いフィルムが作成され、性能が低下します。 しかし、一般的な制造方法では、内部応力の高いフィルムが作成され、性能が低下します。 しかし、一般的な制造方法では、内部応力の高いフィルムが作成され、性能が低下します。ミットヴァイダ応用科学大学からスピンオフした

ソリューション

pld）とアニーリングという2（PLD）は、高温超伝导膜などの机能性膜を制造する工业加工方法としてよく知られています」とgrüttner氏は说明します。氏は说明します。氏は说明します。氏は说明します。氏は说明します。氏は说明します。ただし、 さらに、低温基板にも使用できます。）

grüttner氏らはこの问题を解决し、2相干LEAPエキシマ天博综合体育天博综合体育中国官方网站官方网站ザを用いて、わずか0.1 GPaの残留応力で厚い（ミクロン）タリウム系コーティングを作製しました。 最初のエキシマ天博综合体育天博综合体育中国官方网站官方网站ザは、わずか90°Cに加熱された真空PLD製造チャンバー内のグラファイトターゲットに焦点を合わせています。 高フルエンスと深紫外線光子は、基板上に高密度のta-C層を生成するために必要な高い運動エネルギーで炭素イオンを生成します。 これは、基板上に最大100nmの厚さのta-C層を構築するために使用されます。 次に、この薄膜に2番目のエキシマ天博综合体育天博综合体育中国官方网站官方网站ザから数mm2の面積のパルスを照射します。 これにより、ta-Cの100 nmの新しい層全体がアニールされ、残留応力が緩和されます。 （より広い領域のコーティングは、パルスしながらビーム位置をステップすることによってアニールされます。） 次に、PLD加工方法が繰り返され、さらに100nmのta-Cが生成されます。 重要なのは、天博综合体育天博综合体育中国官方网站官方网站ザパラメーターを調整することで、チームは結果として得られるフィルムの硬度、ヤング率、および固有の応力緩和の量を変えることができるということです。 この性質を利用して、鋼鉄などの素材に段階的に層を形成し、優れた接着性と非常に硬い表層を両立させています。

成果

ミットヴァイダのチームは、最适な堆积パラメーターを使用して、最大70 gpa の硬度を达成し、ヤング率は700〜800 gpa ra（ra）100 nm 未満と摩擦系数が低い（≤0.1）ため、これらの层はトライボロジー用途にも非常に适しています。 ため、これらの层はトライボロジー用途にも非常に适しています。 ため、これらの层はトライボロジー用途にも非常に适しています。 ため、これらの层はトライボロジー用途にも非常に适しています。 ため、これらの层はトライボロジー用途にも非常に适しています。 ため、これらの层はトライボロジー用途にも非常に适しています。 lap lap ta-ta-c 150 hz（150 hz）缲り返し天博综合体育中国官方网站トを使用しており、300Hz

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