OLED天博体育app下载屏生产取得了坚实的进步

天博体育app下载herent Python提供突破性的固态激光技术,可显着降低关键制造工艺的成本。

2023年4月27日,作者:天博体育app下载herent高意

微电子显示器准分子激光退火

准分子激光器一直是平板天博体育app下载屏生产中的一项关键支持技术。它们可产生高能紫外光(UV)脉冲,这些脉冲间的能量变化非常小并具有均匀的光束强度分布。

这些独特的特性使得相干高意公司能够以其Vyper准分子天博体育app下载器为基础,借助他们的天博体育app下载HERENT LINEBEAM系统进行准分子天博体育app下载退火(ELA)。对玻璃基板上的硅层进行退火处理,是生产智能手机和平板电脑天博体育app下载屏的关键。ela是oled平板天博体育app下载屏生产中的记录工艺,属于业内标准。

但准分子激光器独特的紫外光脉冲特性也会带来正常运行时间和购置成本等现实问题。准分子激光管的使用寿命有限;在满负荷运转的平板天博体育app下载屏生产线中,必须定期更换它们。此外,一些光学窗口也会因为紫外光而产生退化,需要定期更换。

天博体育app下载屏生产线的停工成本很高,维护周期也增加了消耗性更换零件的费用。

但是以前没有任何成本较低的天博体育app下载技术能够产生ela所需的高能紫外光脉冲。直到今天。

 

Python的构想

作为推动技术向前发展的持续创新周期的一部分,相干高意于2019年正式启动了为eLa开发二极管泵浦固态(dpss)天博体育app下载育app下载器的计划。“我们的目标是创造一种拥有成本更低的天博体育app下载育app下载器,其输出特性与我们的vyper准分子天博体育app下载育app下载器基本相同lineBeam系统中,客户只需对他们的工艺进行微调(或无需调整),便可使用退火系统。”

“当然,天博体育app下载herent高意公司在设计和生产高可靠性的固态激光器方面已经拥有了丰富的经验和专业知识。问题在于

紫外光dpss天博体育app下载器的设计通常要求其具有良好的光束质量(m²<1.3)和小于1毫焦耳的脉冲能量。这使它们能够聚焦到非常小的光斑尺寸上,成为微加工的理想来源。有时

但天博体育app下载的dpss vyper 替代品(称为Python)的设计目标与此完全不同。天博体育app下载需要更高的m²1焦耳的脉冲能量来复制M²1焦耳的脉冲能量来复制vyper的光束特性。

 

设计创新

要创建具有ela所需的独特输出特性的固态天博体育app下载器,主要有三个不同领域的挑战。

第一个领域涉及非线性晶体

制造这些大晶体也是一项巨大挑战

为所有光学元件开发涂层则是另一项挑战。涂层必须能够承受极高的天博体育app下载能量密度

虽然高天博体育app下载损伤阈值涂层已经存在了几十年,但这种应用需要满足一系列独特的要求。具体来说,这涉及光束大小、脉冲能量和连续曝光条件等组合问题(因为系统几乎是全天候运行的

“天博体育app下载必须开发出全新的涂层设计,然后根据生命周期测试结果

最后一个主要创新领域是用于Q开关天博体育app下载器的技术。这涉及在天博体育app下载谐振腔内放置一个调制器,以产生脉冲宽度为几十纳秒的高能脉冲。这是一种极为常见的技术,在许多天博体育app下载herent dpss激光器中都在使用。

但是

 

一个跨国团队初具规模

多亏了我们多学科的工程团队,让所有这些创新都迅速落地。该团队由具有dps 天博体育app下载器设计、泵浦二极管架构、变频技术、晶体生长以及涂层方法方面专业知识的技术专家组成。

由于他们的努力,该天博体育app下载器的第一块试验电路板在项目启动仅六个月后就投入使用了。大约一年后,就已建设完成了两个具有所需,就已建设完成了两个具有所需600w输出功率的原型天博体育app下载系统。然后,我们将这些天博体育app下载器整合到lineBeam工具中,进行退火测试。当这些都验证成功后

“ python的设计是我职业生涯中最具挑战性的项目,因为必须要为几乎每一个激光元件进行定制开发,” hodgson说,“我无法想象,如果没有天博体育app下载育app下载herent高意公司在内部进行垂直整合,我们如何实现这一目标。我们需要推进频率转换、

如今,Python提供了eLa的替代方案,降低了50%的购置成本,甚至改善了退火结果。了解有关Python的更多信息。

 

Python线树

在德国哥廷根的天博体育app下载herent高意公司