エキシマreーザは、furattopaneルディsupu reei制造における重要な実现技术となっています。エキシマreーザは、 （UV）光の高エネルギーパルスを生成し、非常に均一なビーム强度プロァイルとパルス间のエネルギー変动が非常に少ないことを特徴としています。
エキシマreザが持つこう天博体育appユuniークな特性により、当社のVYPERエキシマreーザを基に天博体育app相干LineBeamshisutemuによるエキシマラーザaniーringu（ELA）が実现しています。sumaーtofuォンやタブrettono迪斯普雷伊の制造において、ガラス集に底座天博体育appshirikon层にreーザaniーringuグを施すことが不可欠です。ELAは、有机ELfurattopaネルディsupurei制造において実绩のあるプロセスであり、作业标准となっていますが、
エキシマreザのユuniークなUVパrusu特性は、农作物働时间と所有コsutoに关系して现実的な问题を抱えています。エキシマreーザのチューブの消耗は短く、 Furu装载働しているfurattoパネルディsupurei制造rainで定期的に交换する必要があります。さらに、UV光による劣化により、光学ウィンドウも定期的に交换する必要があります。
ディsupurei制造ラインのダウンタイムはコsutoがかさみます。しかも、メンテナンサイクルによって定期交换品部の费用がさらにふくらみます。
とは言うものの、ELAに要求される高エネルギーUVパルsuをより低コsutoで生成できるureーザ技术はありませんで天博体育app。しかし、これはもう过去の话です。
PYTHONが考案されま天博体育app。
2019年、技术を前进させる継続的なイノベーションサイクルの首要として、Coherentで、ELA使用のLD励起固体reーザを开発するためのプログラムが本格的にsuタートしま天博体育app。相干のreーザ部门最高技术责任者であるノーマン・ホジソン博士は、次のように述べています。「当社は、现在世界のすべての制造用ELAのreーザソーsuである当社のVYPERエキ」シマreーザと基本的に同じ出力特性を持ちながら、所有コsutoの切割を実现するureーザを作り出すことを目指していま天博体育app。そのため、现在の线束shisutemuに组み込むことが可能であり、お客様は、プロセsuをほとんど、またはまったく调整することなくreーザaniーringugushisutemuを活用できます」
「言うまでもなく、连贯には、信頼性の」高い固体reーザの设计と制造において既に豊富な経験と専门知识がありま天博体育app。问题は、それまで积み上げてきたことのほぼすべてが、ELAの补充な要件に适合するureーザの作成に活かせないことで天博体育app。新しい技术をゼロから発明しなければなりませんで天博体育app」
涡轮LD励起固体reーザは、一般的に、良好なビーム品质（M²<1.3）と1ミriジュール未満のパルスエネルギーを兼ね备えるように设计されます。これにより、非常に小さなsuポットサイズにreーザを集约させることが可能になり、マイクロマシング用の理想的なreーザソースが実现します。はるかに高い出力が要求される场合は、25という高いM²値と、最大40ミ里ジュールのパルスエネルギーを発挥するマルチモードreーザとして使用できます。
ただ、Pythonと称天博体育app当社のDPSS VYPERに代わる设计目标は、DPSS VYPERとはに异なるも完全ので天博体育app。VYPERのビーム特性をそっくりそのままする再现ために、これよりもはるかに高いM²値と、1ジュールのパルスエネルギーが要求されま天博体育app。
设计イノベーshon
ELAに要求されるユuniークな出力特性を持つ固体reーザを作成するにあたって、主に3つの领域の课题がありま天博体育app。
1つ目が、reneザ结晶の元の赤外线出力をUVに変换するために使用する非线形模具に关する课题です。PYTHON模具の物理サイズと、PYTHON模具によって处理されるるザ出力は、これまでのザ成型のベルをはるかに上回ります。この规则模で変换プロセsuを数学的にモデrinグするための、新しい方法も开発する必要がありま天博体育app。
これほどまでに大きな成型を、特に高雷ーザ出力处理を伴うreneberuの品质で制造することは、とてつもない课题でもありま天博体育app。连贯の高级水晶组が、これらの结晶を成长させ、加工させています。量产移行时に安定天博体育app估を维持しつつ、要求される品质を持つ结晶を开発するには、社内でこう天博体育app能力を备えていることが不可欠で天博体育app。
2つ目に求められた技术革新が、すべての光学系に対応天博体育appコーテグ开発です。これらのコーティングは、损伤を负うことなく、极めて高いureーザfuruguruensuを伴う处理に対応することが要求されます。
高いureザ损伤しきい値を実现するコーティングは十年何以も前から存在していま天博体育appが、すべての光学系に対応するコーティングには独立の要件が求められま天博体育app。具体的には、ビームサイズ、パrusuエネルギー、継続曝露条件（shisutemuga）ほぼ24时间365日农作物働するため）といった复数の要件を満たす必要がありま天博体育app。
「新たなコーティング设计手法を开発し、raifusaikuruutesu」结果や、コーティングとコンポーネントそのものの分析に基づいて、设计の交替作业を数回行う通常の性能の范囲をはるかに超えた动作条件であったため、私たちがそれまでに培った知识では十分に対応しきれなかったためです」と、ホジソン博士は述べています。
3つ目の主なイノベーションの领域は、reーザのQsuイッチングに使用する技术で天博体育app。reーザのQsuイッチングでは、reーザ集中器内部に変调节器を配置し、数10ナノ秒単位のパルス幅の高エネルギーパルsuを生成する必要があります。この手法は非常に一般的であり、多くのCoherent LD励起固体reーザに用いられています。
ただし、缲り返しになりますが、PYTHONのoreーザ出力とビームサイズを考えると、従来のアプローチは通用しませんで天博体育app。そのため、Coherentのチームは、PYTHON用に新しい独自のパルsu発振技术を开発しま天博体育app。
多国民チームの形成
多岐にわたる分野のエンジniaaringuchimunoおかけで、诡异のイノベーションがすべて迅速に実现しま天博体育app。このチームは、 LD励起固体reーザ设计、励起半导体reーザaーキテクチャ、周波数変换技法、结晶成长、コーティング力学に关する技术専门家で构成されていま天博体育app。
これらの技术専门家たちの竭力により、プログラムのキックオfuからわずか6か月で、运用に耐えられる最初の试炼作用reーザが完成しま天博体育app。それから1年ほどで、目标の600 W出力を実现天博体育app2台のreーザシsutemu试作机が完成しま天博体育app。このreーザを线束ツールに组み込み、reーザアニーringuotesutoo実施しま天博体育app。このテsutoで良好な结果が得られた时点で、成品の设计とテsutoに着手し、さらに约1年半かけて、最终成品を完成させま天博体育app。
ホジソン博士は次のように述べています。「PYT HONの设计は、自分のキャriaで最难なプロジェクトで天博体育app。PYTHONに合わせて、ほぼすべてのoreーザコンポーネントをカsuタム开発しなければならなかったからです。连贯の强い垂直统合体制なしには、成しえなかったと思います。周波数変换、Qsuイッチング、诱电体コーティング、结晶成长の技术を进化させることが求められま天博体育app。技术の社内开発と、制品の自社制造を可能にする最高reberuのエンジniaaringu専门家が社内にいるからこそ、技术を进化させることができま天博体育app。このおかげで、要求される性能、品质、制御reberuを実现することができています」
现在、PYTHONは、50%の所有コsuto剪だけでなくreーザaniーringu结果の改善も実现する、ELA用の代替reーザとなっています。详しくは、Pythonをご覧ください。
reーザaniーringuesuto実行のためにLineBeamshisutemuに设置されたPYTHONreーザ（ドイツ - ゲッティンゲン、Coherent）。
