有机埃尔ディスプレイ天博体育appの着実な进化

coherent Python は、重要な制造加工方法のコストを大幅に削减する画期的な固体天博体育appザ技术を提供します。

2023 年4月27日、coherent

エキシマ天博体育appザは、フラットパネルディスプレイ制造における重要な実现技术となっています。エキシマ天博体育appザは、紫外线（ uv）光の高エネルギーパルスを生成し、非常に均一なビーム强度プロファイルとパルス间のエネルギー変动が非常に少ないことを特徴としています。

エキシマ天博体育appザが持つこうしたユニークな特性により、当社のVyperエキシマ天博体育appザを基にした相干linebeamシステムによるエキシマ天博体育appザアニーリング（ELA）が実现してい天博体育app。スマートフォンやタブレットのディスプレイの制造において、ガラス基板に堆积したシリコン层に天博体育appザアニーリングを施すことが不可欠です。 ela は、有机埃尔フラットパネルディスプレイ制造において実绩のあるプロセスであり、业界标准となっていますが、

エキシマ天博体育appザのユニークなuv uv uv 光による劣化により、光学ウィンドウも定期的に交换する必要があります。

ディスプレイ天博体育appラインのダウンタイムはコストがかさみます。しかも、メンテナンスサイクルによって定期交换部品の费用がさらにふくらみます。

とは言うものの、 ELAに要求される高エネルギーuv パルスをより低コストで生成できる天博体育appザ技术はありませんでした。しかし、これはもう过去の话です。

Pythonが考案されま天博体育app。

2019 年、技术を前进させる継続的なイノベーションサイクルの一贯として、 coherent で、 Ela用のld coherent の天博体育appザ部门最高技术责任者であるノーマン・ホジソン博士は、次のように述べています。「当社は、现在世界のすべての制造用 eLa の天博体育appザ部门最高技术责任者であるノーマン・ホジソン博士は、次のように述べています。「当社は、现在世界のすべての制造用 vyper エキシマ天博体育appザと基本的に同じ出力特性を持ちながら、所有コストの削减を実现する天博体育appザを作り出すことを目指していました。そのため、现在のlineBeamシステムに组み込むことが可能であり、お客様は、プロセスをほとんど、またはまったく调整することなく天博体育appザアニーリングシステムを活用できます」

「言うまでもなく、 coherent には、信頼性の高い固体天博体育appザの设计と制造において既に豊富な経験と専门知识がありました。问题は、それまで积み上げてきたことのほぼすべてが、elaの极端な要件に适合する天博体育appザの作成に活かせないことでした。新しい技术をゼロから発明しなければなりませんでした」

紫外线ld 励起固体天博体育appザは、一般的に、良好なビーム品质（m² <1.3）と1ミリジュール未満のパルスエネルギーを兼ね备えるように设计されます。これにより、非常に小さなスポットサイズに天博体育appザを集约させることが可能になり、マイクロマシニング用の理想的な天博体育appザソースが実现します。はるかに高い出力が要求される场合は、25 25毫秒40

ただ、Pythonと称天博体育app当社のdpss Vyper に代わる设计目标は、 dpss Vyper vyperとは完全に异なるもので天博体育app。VYPERのビーム特性をそっくりそのまま再现するために、これよりもはるかに高いM²値と、1ジュールのパルスエネルギーが要求されま天博体育app。

设计イノベーション

ELA に要求されるユニークな出力特性を持つ固体天博体育appザを作成するにあたって、主に3

1 uv uv python 结晶の物理サイズと、 python 结晶によって处理される天博体育appザ出力量は、これまでの天博体育appザ结晶のレベルをはるかに上回ります。この规模で変换プロセスを数学的にモデリングするための、新しい手法も开発する必要がありました。

これほどまでに大きな结晶を、特に高天博体育appザ出力处理を伴うレベルの品质で制造することは、とてつもない课题でもありました。 coherentの高级晶体组が、これらの结晶を成长させ、加工させています。量产移行时に安定した供给を维持しつつ、要求される品质を持つ结晶を开発するには、社内でこうした能力を备えていることが不可欠でした。

高い天博体育appザ损伤しきい値を実现するコーティングは何十年も前から存在していましたが、すべての光学系に対応するコーティングには独自の要件が求められました。具体的には、ビームサイズ、パルスエネルギー、継続曝露条件（システムがほぼ24时间365日稼働するため）といった复数の要件を満たす必要がありました。

「新たなコーティング设计手法を开発し、ライフサイクルテスト结果や、コーティングとコンポーネントそのものの分析に基づいて、设计の反复作业を数回行う必要がありま天博体育app。通常の性能の范囲をはるかに超えた动作条件であったため、私たちがそれまでに培った知识では十分に対応しきれなかったためです」と、ホジソン博士は述べています。

3 Q Q Q Q スイッチングでは、天博体育appザ共振器内部に変调器を配置し、数10ナノ秒単位のパルス幅の高エネルギーパルスを生成する必要があります。この手法は非常に一般的であり、多くのcoherent ld励起固体天博体育appザに用いられてい天博体育app。

ただし、缲り返しになりますが、 python の天博体育appザ出力とビームサイズを考えると、従来のアプローチは通用しませんでした。そのため、 coherent のチームは、 python用に新しい独自のパルス発振技术を开発しました。

多国籍チームの形成

多岐にわたる分野のエンジニアリングチームのおかけで、前述のイノベーションがすべて迅速に実现しました。このチームは、 ld 励起固体天博体育appザ设计、励起半导体天博体育appザアーキテクチャ、周波数変换技法、结晶成长、コーティング手法に关する技术専门家で构成されていました。

これらの技术専门家たちの尽力により、プログラムのキックオフからわずか 6 か月で、运用に耐えられる最初の试作用天博体育appザが完成しました。それから1年ほどで、目标の600 w出力を実现した2lineBeamツールに组み込み、天博体育appザアニーリングテストを実施しました。このテストで良好な结果が得られた时点で、最终制品の设计とテストに着手し、さらに约1年半かけて、最终制品を完成させました。

ホジソン博士は次のように述べています。「python の设计は、自分のキャリアで最も困难なプロジェクトでした。Python に合わせて、ほぼすべての天博体育appザコンポーネントをカスタム开発しなければならなかったからです。 coherent の强い垂直统合体制なしには、成しえなかったと思います。周波数変换、 Q スイッチング、诱电体コーティング、结晶成长の技术を进化させることが求められました。技术の社内开発と、制品の自社制造を可能にする最高レベルのエンジニアリング専门家が社内にいるからこそ、技术を进化させることができました。このおかげで、要求される性能、品质、制御レベルを実现することができています」

python python は、50％の所有コスト削减だけでなく天博体育appザアニーリング结果の改善も実现する、ELA 用の代替天博体育appザとなっています。详しくは、Pythonをご覧ください。