有许多方法可以生产用于电子、光学和光子应用的各种类型的天博体育官网，，脉冲天博体育官网沉积（pld）已成为许多新兴天博体育官网应用的首选技术，PLD
在pld中，将一块固体薄材料（称为靶材）准分子天博体育官网天博体育官网的高通量可产生具有高度电离和高动能的原子种类。这些原子沉积在基板上，慢慢地形成一层材料膜。
化学计量结果
化学计量是一个化学术语，指的是材料中不同原子的比例。例如，乙烯的化学计量是指氢和碳的比例为2：1。当在pld 中使用像石墨（即只有碳原子）
但是许多重要的新型薄膜拥有相当复杂的化学计量。比较突出的示例包括用于新型光子器件（包括新一代太阳能）（hts）和钙钛矿材料。挑战在于蒸发靶上的材料并将所有原子以与原始靶形式相同的比例（相同的化学计量（hts）天博体育官网到基板上。该过程称为化学计量天博体育官网，而此类薄膜称为化学计量薄膜。
化学计量pld创造的天博体育官网具有与目标相同的成分。
使用准分子天博体育官网器的pld的主要优势之一是
合适的准分子天博体育官网器
三个天博体育官网参数对于成功的pld非常重要，其中成功是指具有均匀厚度和正确化学计量的高产量高密度薄膜。
首先是高光束均匀性。均匀的光束强度允许在相同的优化通量下烧蚀更大的靶材区域。光束热点或弱点可能会影响这种优化并降低薄膜质量和均匀性。出于同样的原因，pld需要具有良好脉冲间稳定性的准分子天博体育官网器。最后，pld需要具有高脉冲能量和高功率的准分子，以实现生产线中的工艺批量扩展。
相干高意compex系列准分子是PLD的优先选择，因为它们满足所有这些要求。这些天博体育官网器具有高达，因为它们满足所有这些要求。这些天博体育官网器具有高达750MJ的脉冲能量和超过30瓦的功率，提供出色的脉冲稳定性（0.75％RMS），可确保高通量控制。
PLD
高温超导带材
多层高温超导（hts）带材包含pld天博体育官网的稀土氧化钡铜（rebco）超导层
射频压电滤波器
基于压电氮化铝（aln）天博体育官网的射频（rf）滤波器广泛用于移动通信基础设施。5gwi-fi wi-fi标准依赖具有精确掺杂浓度的更薄、更具压电活性的结晶天博体育官网。pld rf rf天博体育官网
类金刚石碳层
耐磨且机械稳定的类金刚石碳（DLC）涂层具有极低的摩擦系数
天博体育官网晶圆
薄膜制造广泛应用于各种晶圆市场，MEMS 、半导体、光伏、 oLED显示屏和rf显示屏和rf 300 mm的成熟pld工艺使系统供应商能够扩展他们的能力和薄膜复杂性/功能，超越了溅射、原子层天博体育官网或化学气相天博体育官网等现有方法。
固态天博体育官网电池
基于固体电解质的电池有望为不断增长的电动汽车市场提供更远的续航里程和更快的充电能力。Pld促进了先进的离子导电性固体电解质的发展，包括阳极和阴极材料，这些材料均具有可调节密度和化学计量以及纳米级厚度精度。
透明导电氧化物
在各式各样的太阳能电池（如卤化物钙钛矿光伏电池）中
