天博体育app器
将高能紫外光脉冲用于微电子、显示屏、科学研究、医学和薄膜加工。
- 大场尺寸处理用均匀的大面积平顶型光束覆盖样品表面。
- 可扩展的紫外光功率调整从预生产到大批量生产的功率水平。
- 极致精度在低温薄膜加工中选择性地沉积天博体育app能量。

种类齐全的天博体育app器产品组合
凭借50年的天博体育app器领域经验,我们知道您可以使用与您的应用相匹配的天博体育app器获得绝佳结果。这就是为什么我们提供选择范围极广的激光功率和能量选项的原因,所有这些都具有卓越的质量和性能。

Excistar
Excistar台式紫外光天博体育app器专为精细任务而设计,这些任务包括角膜消融、处方透镜打标和光学传感器制造。
- 高重复频率 -高达 -1 kHz。
- 台式 -650 mm x 300 mm。
- 193 nm或248nm -精确打标和烧蚀。

Indystar
Indystar激光器是坚固耐用的高占空比紫外光天博体育app器,专为快速脉冲应用(如喷墨嘴钻孔、测量和光学测试)而设计。
- 高脉冲频率 -在全天候应用中高达 -2 kHz。
- 半导体应用 -符合 -semi -s2
- 193 nm和248nm -平版印刷开发、掩模板和光学测试、微加工。

compex
compex紫外光天博体育app器可产生数百毫焦的脉冲能量,具备高脉冲至脉冲稳定性和出色的光束均匀性,适用于要求严苛的应用。
- 高能量 -数百毫焦。
- 波长多样 -193 nm 、248 nm 、308 nm 、351 nm。
- 支持薄膜加工 -晶片加工、脉冲天博体育app沉积。

leap
leap 紫外光天博体育app器具备高占空比输出、可靠性和低使用成本,可进行高能量、高精度加工。
- 功率等级的广泛选择-同一平台支持高达 -600 瓦的大批量制造、预生产和开发。
- 按需脉冲 -根据您的工艺流程调整脉冲模式,从而尽可能降低运营成本。
- 多功能 -从193nm 、248 nm和308nm型号中选择,用于脉冲天博体育app沉积、微结构或显示屏加工。

lambda sx
lambda sx是用于生产车间的工业紫外光天博体育app器,具有稳定的高能脉冲,支持大面积紫外光加工,并拥有光束稳定性。
- 高功率 -高达600w。
- 高脉冲能量 -高达1000MJ
- 高脉冲频率 -三班批量生产,频率高达600Hz。

Vyper
Vyper千瓦至数千瓦紫外光天博体育app平台可达成大批量显示屏生产的超高吞吐量。
- 十分高的功率 -3600w。
- 非常高的脉冲能量 -6j。
- 无与伦比的能量稳定性 -支持oled和microled背板加工。
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