天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）：研究室から制造工场まで

パルスレーザ成膜（ pld）では、最先端のバッテリーの研究から超电导テープの大量生产まで、あらゆる种类の天博体育中国官方网站の化学量论的制造において强力なエキシマレーザに依存しています。

2023 年1月25日、coherent

エレクトロニクス、光学、フォトニックなどのさまざまな用途の天博体育中国官方网站を制造するには、多様な方法（热蒸発、反応性スパッタリング、化学蒸着など）があります。しかし近年、天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）は、多くの新しい天博体育中国官方网站用途で采用される技术になり、纯粋な研究用ツールから大量生产に対応するツールへと変迁しています。ここでは、パルスレーザ成膜（ pld）の仕组みと主な利点、および兴味深い用途をご绍介します。

天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）では、ターゲットと呼ばれる薄い材料の固まりを、成膜する基板に近い真空容器内に配置します。その后、材料の仕様に応じて、193 nm 、248 nm 、308 nmで动作している高エネルギー紫外线エキシマレーザからの天博体育中国官方网站をターゲットに照射します。エキシマレーザ天博体育中国官方网站の高い流束量により、电离度が高く运动エネルギーの高い原子种が発生します。この原子が基板上に蒸着し、徐々に素材の膜を形成します。

化学量论的な结果

化学量论とは、物质中の异なる原子の割合を意味する化学用语です。たとえば、エチレンの化学量论は水素と炭素が2：1（PLD）（PLD）でグラファイト（つまり、炭素原子のみ）のような元素系ターゲット材を使用する场合、他の可能性がないため天博体育中国官方网站は常にターゲットと同じ组成になります。

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化学量论的パルスレーザ成膜（ pld）による、ターゲットと同じ组成の天博体育中国官方网站の作成。

エキシマレーザを用いた天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）の大きな利点の一つは、加工方法を适切に最适化すれば、极めて化学量论的な膜を作ることができることです。交互に积层された2

适切なエキシマレーザ

天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）の成功には、以下に示す3つのレーザパラメータが非常に重要であり、成功とは、均一な厚みと正しい化学量论で高密度の膜が高い收率で得られることであると定义されます。

1（PLD）には天博体育中国官方网站间安定性に优れるエキシマレーザが必要です。最后に、天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）には、生产ラインでの加工方法の拡大を可能にするために、高天博体育中国官方网站エネルギーで高出力のエキシマレーザが必要です。

エキシマレーザの相干COMPEXは、これらの要件を満たしているため、天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）用途向けの主要な选択肢です。最大750MJの天博体育中国官方网站エネルギーと30W 以上の出力を持つこれらのレーザは、0.75％，rms の比类ない天博体育中国官方网站安定性を备えているため、高い流速量制御を确保できます。

天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）の用途

高温超电导テープ

（rebco）（pld）（hts）超电导层を含む高温超电导（ hts）多层テープは、核融合、MRI 、粒子加速器などの新世代の磁石や、低损失の送电网部品に欠かせない要素です。エキシマレーザベースの天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）だけが、実际の产业用途に适用可能な hts膜を提供できることが证明されています。

无线周波数ピエゾフィルター

圧电窒化アルミニウム（ rf）フィルターは、移动体通信インフラに広く使用されています。 rf）フィルターは、移动体通信インフラに広く使用されています。5Gや次世代wi-fi（pld pld）法では、従来のスパッタ成膜加工方法よりもさらに低コストで优れた rf rf 天博体育天博体育中国官方网站官方网站を制造することができます。これにより、5G 5Gや6g rfの时代に対応した均质な

ダイヤモンドライクカーボン（ dlc）层

耐摩耗性と机械的安定性に优れ、摩擦系数が极めて低い dlc （ダイヤモンドライクカーボン）

天博体育中国官方网站アブレーションウェハ

天博体育中国官方网站制造は、MEMS 、半导体、太阳光発电、有机埃尔ディスプレイ、 rf フロントエンドフィルターなど、さまざまなウエハベースの市场で応用されています。300毫米（PLD）（PLD）加工方法により、システムサプライヤーは、既存の手法（スパッタリング法、原子层成膜法、化学蒸着法など/机能を拡张することができます。

固体天博体育中国官方网站バッテリー

固体电解质に基づくバッテリーセルは、成长する e- モビリティ市场において、航続距离の延长と急速充电机能を実现します。天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）は、密度や化学量论的组成が调整可能でナノメートルレベルの厚み精度を持つ负极および正极材料から成る、最先端のイオン伝导性固体电解质の成长を可能にします。

透明导电性酸化物

ハライドペロブスカイト太阳电池（ソーラー）（PLD）（PLD）により、バッファーフリー半透明ペロブスカイト太阳电池（ソーラー）

天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）に最适なエキシマレーザ

结论として、エキシマレーザは天博体育中国官方网站レーザ成膜（ pld）に最适なレーザであり、化学量论的な膜生成を支える高い光子エネルギーと、工业生产速度を可能にする高いパルスエネルギーおよび平均出力を提供することができます。また、これらの全く异なる例で示されるように、非常に多様な天博体育中国官方网站に适用できるため、现在最も急成长しているレーザアプリケーションの一つです。