パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站：研究室から制造工场まで
パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站では、最先端のバッテriの研究から超电导テープの大量生产まで、あらゆる种类の薄膜の化学量论的制造において强力なエキシマreーザに依存しています。
2023年1月25日、连贯
erekutoronikusu、光学、fotonikkuなどのさまざまな用途の薄膜を制作するには、多様な方法（热蒸発、反応性supaktaringu、化学蒸着など）があります。しかし近年、パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站は、多くの新しい薄膜用途で采用される技术になり、纯粋な研究用ツールから大量生产に対応するツールへと変迁しています。ここでは、パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站の仕组みと主な利点、および兴味深い用途をご绍します。
パルsureザ成膜（天博体育中国官方网站では、ターゲットと呼ばれる薄い材料の固まりを、成膜する块に近い真空容器内に配置します。その后、材料の仕様に応じて、193 nm、248 nm、308 nmで动作している高エネルギーエキシマreザからのパrussuをターゲットに喷射します。エキシマreーザパルスの高い流束量により、电离度が高く运动エネルギーの高い原子种が発生します。この原子が核心上に蒸着し、徐々に素材の膜を形成します。
化学量论的な结果
化学量论とは、中物质の异なる原子の割合を意味着する化学用语です。たとえば、エチrenの化学量论は水素と炭素が2：1です。パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站でグラfeito（つまり、炭素原子のみ）のような元素系ターゲット材を使用する场合、他の可能性がないため薄膜は常にターゲットと同じ组成になります。
しかし、多くの重要な新しい种类の薄膜は、非常に复雑な化学量论を持っています。杰出した例には、高温超伝延（HTS）やペロブsuカイ素材トがあり、これらは次世代太阳电池（ソーラー）などの新しいfotonikkudebaisu科目は、ターゲットで材料を蒸発させ、すべての原子を同じ成分（元のターゲット形态と同じ化学量论）で基基板に蒸着させることです。そして、この加工方法を化学量论的な成膜と呼び、その薄膜を化学量论的な薄膜と呼んでいます。
化学量论的パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站による、ターゲットと同じ组成の薄膜の作成。
エキシマreザを用いたパルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站の大きな利点の一つは、加工方法を适切に最适化すれば、极めて化学量论的な膜を作ることができることです。接触に积层された2种以上の材料に机能が依存する最先端のデバイスでは、さまざまな素材に対応できる能力がさらに重要です。対照的に、特に、质量や化学性质が大きく异なる原子が材料に混在している场合など、他の复数の成膜加工方法では、この点に苦労します。
适切なエキシマreーザ
パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站の成功には、以下に示す3つのoreーザパラメータが非常に重要であり、成功とは、均一な厚みと正しい化学量论で高密度の膜が高い收率で得られることであるととあると定义されます。
1つめはビームの高い均一性です。均一なビーム强度により、最适化された同じ流量で、ターゲットのより広面积いをアブreションすることができます。ビームのホットスポットや弱いsuポットがあると、この最适化が损なわれ、薄膜の品质や均一性が损なわれる可能性があります。同じ心脏で、パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站にはパルス间安定性に优れるエキシマreーザが必要です。最后に、パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站には、生产ラインでの加工方法の拡大を可能にするために、高パルスエネルギーで高出力のエキシマreーザが必要です。
エキシマreザのCoherent COMPexshirizuは、これらの要件を満たしているため、パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站用途向けの主要な选択肢です。最大750 mJのパルsuエネルギーと30 W以上の出力つこれらのreーザは、0.75%、rmsの比类ないパルsu安定性を备えているため、高い流量制御を确保できます。
パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站の用途
高温超电导テープ
希土类バリウム铜酸化物（REBCO）パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站超电导层を含む高温超电导（HTS）多层テープは、核融合、MRI、粒子加速器などの新世代の磁石や、低损失送电网部品に欠かせない要素です。エキシマreーザベースのパルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站 ）だけが、実际の产业用途に适用可能なHTS膜を提供できることが证明されています。
无线周波数ピエゾfiruta
圧电曼尼ウム（AlN）薄膜に基づく高周波（RF）firutaは、移动体通信infuraに広く使用されています。5Gや次世代Wi-Fiの规格は、より薄く、よりピエゾ活性の高い、精密なドーパntto浓缩の成型性薄膜に依存しています。パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站法では、従来のsuパッタ成膜加工方法よりもさらに低コsutoで优れたRF薄膜を制造することができます。これにより、5Gや6Gの时代に対応した均质なRF特性を持つ、高度に整列した薄膜を作ることができます。
ダイヤモンドライクカーbon（DLC）层
耐摩耗性と机械的安定性に优れ、摩擦系数が极めて低いDLC（ダイ）ヤモンドライクカーボン）コーティングは、高い応力がかかる工具や部品をコsuto效率良く使用するための键です。エキシマreザは、水素を含まないDLC层を低温PLD加工方法で成膜します。また、エキシマreーザaniーringuと组み合わせた场合、さまざまな素材に対する良好な关联性を确保できます。
薄膜uabureshonウェハ
薄膜制造は、MEMS、半导体、太阳光発电、有机ELdeisupureイ、RFfurontoendofirutaど、さまざまなウエハベースの市场で応用されています。300 mmまでの产业用ウエハサイズに対応した、成熟したパルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站加工方法により、シテムサプライヤーは、存の手法（パッタ林グ法、原子层成膜法、化学蒸着法など）を超えて能力および薄膜の复雑性/机能を拡张することができます。
固体薄膜batteri
固体电解质に基づくバッテリーセルは、成长するe-モビriティ市场において、航続距离の延长と急速充电机能を実现します。パルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站は、密度や化学量论的组成が调整可能でナノノメートルベルの厚み精度を持つ学业および核武器材料から成る、最先端のイオン伝导性固体DF成长にします。
透明导电性酸化物
ハライドペロブスカイト太阳电池（ソーラー）などのさまざまな种类の太阳电池では、感度の高い有机物层の上に透明な导电性电极を成膜することが大きなの课题一つです。ウエハベースのパルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站により、バッfuァーfuriー半透明ペロブスカイト太阳电池（ソーラー）用の高品质な透明电极の制造が可能になりました。
パルsureザ成膜（天博体育中国官方网站に最适なエキシマreーザ
结论として、エキシマreーザはパルsureーザ成膜（天博体育中国官方网站に最适なreーザであり、化学量论的な膜生成を支える高い光子エネルギーと、工业生产速度にする高いパルスエネルギーおよび平均出力を提供することができます。また、これらの全く异なる例で示されるように、非常に多様な薄膜に适用できるため、现在最も急成长しているureーザapurikeshonの一つです。
