展示天博体育中国官方网站中的激光器:准分子激光退火

连贯的准分子天博体育中国官方网站器执行一个关键过程,使得更明亮,更高,更节能的显示。

2022年10月4日coherent

灵活的OLED过程

 

当今大多数手机中使用的AMOLED显示器非常华丽 - 明亮而锋利 - 并且在地面以下,天博体育天博体育天博体育中国官方网站官方网站官方网站商已经设计了使用更少的功率。这很重要,因为显示屏通常比手机中其他任何内容都使用更多的电池电源。有大量技术实际上实现了这一切。而且,连贯的激光器在其中发挥了绝对至关重要的作用。在这个由六部分组成的博客系列中,我们将研究激光用于天博体育天博体育天博体育中国官方网站官方网站官方网站显示的一些特定方式。 

由提供动力的最重要的过程之一相干天博体育中国官方网站器出现在天博体育中国官方网站设备循环的第一步。这是当所有现代固态电子设备中心的半导体中的一层薄层沉积在一个称为“母玻璃”的大面板上。如今,这些母玻璃面板通常为1.5 m x 1.85 m(创世6.5),尽管电话天博体育中国官方网站商希望使它们更大以使其更大降低单个天博体育中国官方网站的成本。  

 

问题是无定形的

,但这层的硅层有点问题。用于创建其产生无定形硅的化学蒸气沉积过程。在无定形的硅中,单个原子以不规则和无序的方式排列。由无定形硅制成的电路没有良好的电子特性,这意味着天博体育中国官方网站器将变暗并使用更多的电池电量。 

相比之下,手机中的集成电路以及我们今天使用的所有其他电子设备都是使用单晶硅天博体育中国官方网站的。原子在单晶硅中高度有序;这种布置产生了非常好的电子特性,这是现代微处理器如此迅速的原因之一。

不幸的是,用于创建用于微处理器的单晶硅晶片所用的技术无法缩放以使任何母玻璃面板的大小接近。但事实证明,有第三种形式的硅 - 多晶硅 - 在其中定期定期订购原子。这里的关键指标是电子迁移率,多晶硅的电子迁移率可能比无定形硅的电子迁移率高200倍(单晶硅电子迁移率通常至少是多晶硅硅的两倍)。多晶硅的使用是为什么当前天博体育中国官方网站如此出色的原因。 

 

 

展示生产的一个好主意

那么,您如何获得多晶硅?至少在理论上,这并不是那么困难。所需要做的就是加热无定形硅层直到融化,然后快速冷却,以使其以多晶形式溶解。

问题是您需要将硅加热到约600°C以熔化它。但是,高温以及相关的快速热循环会损坏由常规玻璃制成的面板,并需要使用昂贵的耐热眼镜。这会使显示器更加昂贵,尤其是当天博体育中国官方网站商扩展到更大的玻璃面板尺寸时。  

该解决方案是一种称为准分子天博体育中国官方网站退火(ELA)的技术,用于创建低温多晶硅(LTPS)。它依靠连贯的准分子天博体育中国官方网站器。 

它使用准分子天博体育中国官方网站器的原因是因为它们是唯一可以产生非常强大的紫外线脉冲的来源。硅强烈吸收紫外线,与高脉冲能量结合使用,仅用几个天博体育中国官方网站脉冲迅速融化了薄硅层。这种接近完整的熔体对于获得正确的多晶形成和所需的电子特性至关重要。  

 

天博体育中国官方网站中国官方网站准分子激光退火

将准分子天博体育中国官方网站器的输出形成成细线梁;这是在母玻璃上迅速扫描以有效执行ELA的。

 

硅的高吸收还可以防止在柔性天博体育中国官方网站器的情况下,紫外线将紫外线渗透到下面的玻璃或多酰胺(PI)层。因此,即使硅被彻底熔化,玻璃本身也不会在ELA期间变热。因此,ELA可以在标准的低成本玻璃面板上进行。这就是为什么ELA是为AMOLED手机天博体育中国官方网站器制作LTP的唯一方法。 

要在大型母玻璃基板上执行ELA,从准分子天博体育中国官方网站器中通常的矩形束被重塑为通常是面板宽度的细线梁。这条细线梁聚焦在玻璃面板上,并在其整个长度上进行扫描,以实现硅的所需熔化和分辨化。
 

生产E天博体育中国官方网站

每年天博体育中国官方网站约15亿个手机。每个顶级天博体育中国官方网站商每天都可以生产约100万部手机。不用说,这些公司希望其生产过程非常可靠和低成本。因为在这些卷中,即使是瞬间,任何能够支撑组装线的东西或创建废品产品,都需要花费大量的钱。 

 

生产ELA

相干线束系统是所有主要显示天博体育中国官方网站商使用的成本效益的高量ELA解决方案。

 

相干确保生产ELA实现天博体育中国官方网站商要求提供的质量,可靠性,吞吐量和成本符号的唯一方法是提供集成的紫外线激光器和光学系统 - 我们的coherent linebeam。由于现实世界,大量E天博体育中国官方网站系统结合了几个不同的组件,每个组件都必须表现良好,还必须与系统的其他部分完美地工作。这些组件包括:

  • 准分子天博体育中国官方网站器 -连贯的Vyper系列  - 旨在以高度重复率(以达到必要的吞吐量速度)提供非常高的能量脉冲,具有非凡的稳定性和长期的运行寿命。 
  • 将矩形准分子天博体育中国官方网站束的LINEBEAM光学元件重塑为具有极其一致强度的长而细的线。这是必要的,以使ELA过程的特性不会随沿梁的位置而变化。
  • 主动监视和控制系统以验证和保证过程质量和一致性。

E天博体育中国官方网站是生产高质量平板的必不可少的工具天博体育中国官方网站。而且,这不太可能很快改变,因为连贯的人会不断扩大我们的线条系统,以处理天博体育中国官方网站商想要用于下一代大型手机和平板电脑设备的较大尺寸的母玻璃。