天博体育中国官方网站herent高意半导体制造:euv光刻技术

天博体育中国官方网站herent 高意的尖端激光器、材料等产品旨在支持先进微处理器的制造。

 

2024年10月17日,作者:天博体育中国官方网站herent高意

照亮道路

全球半导体行业正呈现爆炸式增长,预计到2030年将达到惊人的1万亿美元市场(2023年该市场规模将超过5000亿美元)。这种扩展很大程度上是由微处理器的不断微型化和不断增强的功能所推动的。每一代更小、更强大的芯片都能实现全新的天博体育中国官方网站

目前,有几个关键行业推动着大部分此类需求。汽车行业是该产品的一大应用领域

最后

几十年来,连贯高意一直提供对半导体制造和器件封装至关重要的激光器、光学器件和材料。在某些情况下,我们的天博体育中国官方网站一直是微电子制造的关键推动因素。

我们可能会继续增强在这一市场的参与度。因为随着电路尺寸的缩小以支持刚才提到的趋势,其制造、组装和检查流程中使用的必要工具必须更加精确和复杂。这为 天博体育中国官方网站herent高意提供了更大的机会,因为我们的技术通常支持提高制造精度和提高吞吐量。

在这篇博客中

 

极紫外(euv)天博体育中国官方网站

天博体育中国官方网站是半导体制造的核心工艺,涉及将掩模上的电路图案投射到硅晶片上的感光层上,以创建实际的器件(例如晶体管)结构。传统的半导体天博体育中国官方网站技术利用波长为248nm或193nm的准分子激光器来实现这一点。这些激光器已将行业带到了“ 10 nm节点”(10 nm节点,通常包括更小的特征尺寸),通常包括更小的特征尺寸),基本物理学表明需要更短波长的光。

极紫外天博体育中国官方网站(euv)代表了该领域的关键进步。euv天博体育中国官方网站使用波长约为13.5nm的光。这使得芯片制造商能够达到7nm 、5 nm 、3 nm 、3 nm和2nm节点。

为了产生这种天博体育中国官方网站光,高功率红外二氧化碳激光器照射一股微小的熔融锡滴。激光使锡蒸发并形成等离子体(电子从原子中剥离出来的气体)。该等离子体发射天博体育中国官方网站光。

产生和传输这种波长的光的过程非常复杂且具有挑战性,需要极高的精度以及在极端条件下的可靠运行。后者是关键,因为半导体天博体育中国官方网站厂的停机时间每小时可能造成数十万甚至数百万美元的损失。

 

实现euv光刻

天博体育中国官方网站herent高意为euv光刻工具提供多种光学器件

 

用于euv天博体育中国官方网站的光学元件

euv天博体育中国官方网站工具中的二氧化碳激光器和光束传输系统包含许多光学器件,例如透镜和镜子。当然二氧化碳激光光学器件供应商的原因。

天博体育中国官方网站系统中的另一个重要光学器件是金刚石保护窗。这是为了对激光系统内的各个模块进行环境密封,同时允许高功率的二氧化碳激光不受衰减地通过。

虽然znse通常用于此波长的窗口和天博体育中国官方网站系统

此外,金刚石是所有已知材料中热导率最高的材料

天博体育中国官方网站herent高意是这些大面积多晶金刚石保护窗的领先供应商,因为我们是一家垂直整合的制造商。我们在反应器中使用化学气相沉积(cvd)技术来生长钻石

 

用于euv天博体育中国官方网站的结构组件

我们的专业知识还包括制造由特殊陶瓷材料制成的euv天博体育中国官方网站系统组件,例如反应键合碳化硅(rb-sic)。

RB-SIC具有出色的机械和热稳定性

天博体育中国官方网站herent高意使用传统陶瓷制造工艺和新开发的增材制造技术来生产rb-sic。利用这些方法,可以将大型复杂形状生产成近净几何形状,而几乎不需要精密加工。

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天博体育中国官方网站herent高意:您的创新和成功合作伙伴

我们刚刚深入了解了天博体育中国官方网站herent高意产品如何提供必要的创新技术与高性能组合产品

其中一个因素是拥有成本。在半导体行业中,与产品相关的运营成本对用户来说往往比其原始购买价格更为重要。造成这种情况的原因有几个。

第一个是停机时间,我们前面提到过。即使是半导体生产线中出现短暂异常停机,也可能造成较大成本。因此,可靠性和正常运行时间至关重要,因为它们可以为用户节省资金并有助于确保他们能够满足自己的生产计划。

第二个原因是操作的一致性和稳定性。半导体天博体育中国官方网站有许多步骤。在这些步骤中,设备操作的任何变化都可能以不易立即察觉的方式改变正在生产的电路的特性。这意味着天博体育中国官方网站商在发现问题之前可能已经生产了一段时间的不合格零件。这意味着零件报废或返工,这两种情况都是昂贵且耗时的。

因此,工具制造商优先考虑那些在自身技术方面拥有深厚专业知识并拥有长期成功历史的供应商。他们希望与那些产品符合规格、按时交付并在苛刻的半导体制造环境中日复一日地始终如一地运行的公司合作。 天博体育中国官方网站herent高意在这些方面表现突出,数十年来一直拥有超出预期的良好业绩记录。

随着天博体育中国官方网站变革步伐的加快

 

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我们向相干天博体育中国官方网站客户保证,我们将长期致力于提供响应迅速的服务。

 

他们还想知道供应商是否能够继续经营几十年,并能提供服务和维持备件供应。说到服务

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