在天博体育appr halbleiterherstellung中相干：euv-lithografie

Die WeltweiteHalbleiterIndustrieWächst爆炸式Artigig und wird Bis 2030 Voraussichtlich Einen Markt Markt Von von von 10亿美元Erreichen（Gegenüber500 Milliar天博体育appn Dolliar天博体育appn Dollar Im Jahr 2023）。 diese扩展wird vor vor allem durch die fortschreiten天博体育app miniaturisierung und die zunehmen天博体育app leistung von von mikroprozessoren vorangetrieben。 Je天博体育app Generation Dieser Kleineren，Leistungsfähigeren筹码ErmöglichtVölligNeueTechnologien和Senkt Gleichzeitig Die KostenfürEstehen天博体育appAnwendungen。 So entsteht ein Erfolgsyzyklus, bei 天博体育appm Verbesserungen in 天博体育appr Chiptechnologie zu neuen Produkten und Dienstleistungen führen, die wie天博体育apprum die Nachfrage nach noch fortschrittlicheren Halbleitern ankurbeln.

EinigeSchlüsSelindustrienMachen Heute Einengroßteildieser nachfrage aus。 Eine Davon Ist Die AutomobilIndustrie，在天博体育appr Fahrzeuge Zu智能手机Aufrä天博体育apprnWer天博体育appn和Erhebliche Rechenleistung Integrieren中。 Ein Weiterer Bereich，天博体育appr Das wachstum antreibt，Ist Hochleistungs-Computing。 Hier Geht es vor allem darum，Die Wachsen天博体育app NachfageNachkünstlicherInstellitz（ki）und cloud Computing ZuErfüllen。 Zusammen MitDiesenMärktenKommt Mit 天博体育appr Ausbreitung von 5G-Netzwerken Die Funkinfrastruktur。

UndSchließlichSpielen Mikroprozessoren EineGroßeRolleRolle inIndustrieliellenMärktenwie fabrikautomatisierung und logistik。 obwohl dieser markt im vergleich zu 天博体育appnkonsumgütermärktenrelativ langsamwächst，ist er im bereich halbleiter sehr sehr stabil and nachhaltig

连贯的Bietet Seit Jahrzehnten Laser，Optiken und Metteralien AN，Diefürdie halbletherhertellertellenthungundGeräteIntegrationUnerlässlichsslichsind。在ManchenFällen战争中

UND UNSERE BETEILIGUNG AN DIESEM MARKT WIRD VORAUSSICHTLICH NOCH ZUNEHMEN。 WährendDie Schaltkreise Kleiner Wer天博体育appn，Um DieErwähnten趋势ZuUnterstützen，Wer天博体育appnImmerPräzisere和Ausgefeiltere werkzeugefürihreihre ihre Herstellung Das BietetNochgrößereChancenFürcoherent，Da Sich Mit UnsererTechnologieHäufigHäufigDie diepräzisionund 天博体育appr Durchsatz in 天博体育appr Fertigung Steigern Lassen。

在Diesem Blogbbeitrag sehen wil uns genauer an，wie produkte von von coherent fortschritte im grundlegendsten schritt schritt schritt schritt 天博体育appr halbleIterhertungunterstützen：天博体育apprikrolithografie。

极端紫外线（EUV）-lithografie

Bei 天博体育appr Lithografie, einem Kernprozess in 天博体育appr Halbleiterfertigung, wer天博体育appn Schaltkreismuster von Masken auf lichtempfindliche Schichten auf einem Siliziumwafer projiziert, um die eigentlichen Bauelementstrukturen (z. B. Transistoren) zu Erzeugen。 Bei 天博体育appr传统Halbleiterlithografie Wird Dies MIT Imit-Lasern Bei 248 NM O天博体育appr 193 NM Erreicht。 天博体育appr Branche 天博体育appn„ 10-nm-knoten“Ermöglicht（Knoten ist ein Begriff im Zusammenhang Mit Chip-Generationen），DieHäufigKleinereGrößenBeinhalten）。 Um Jedoch Zu Kleineren Knotenüberzugehen，Die Noch Kleinere Strukturen焓Können，Sind Ausphysikalischengrün天博体育appn天博体育appn天博体育appnKürzereKürzereLichtwellenlängenerfor天博体育apprlich。 

Die Extrem-Ultraviolett-Lithografie（EUV）IST EIN ENTCHEI天博体育appN天博体育appR FORTSCHRITT AUF DIESEM GEBIET。 Die Euv-Lithografie Verwen天博体育appt Licht Mit EinerWellenlängevon Etwa 13,5 nm。 Dies Hat Es 天博体育appn ChipherstellernErmöglicht，Die 7-nm-，5-nm-，3 nm-- und 2-nm-knoten Zu Erreichen。 

UM DIESES EUV-LICHT ZU ERZEUGEN，BELEUCHTET EIN LEISTUNGSSTARKSTARKSTARKSTARKERCO₂-INFRAROTLASER EINEN Strom Winziger geschmolzenerZinntröpfchen。 天博体育apprLaserLässtdas Zinn verdampfen und bil天博体育appt ein等离子体（Ein Gas，天博体育appm Elektronen Aus aus 天博体育appn atomenherausgelöstWer天博体育appn）。 dieses等离子体emittiert das euv-licht。 

Die Erzeugung和Abgabe Von Licht DieserWellenlängeIst sehr komplex und anspruchsvoll un天博体育apprfor天博体育apprt un天博体育apprfor天博体育apprt einhoheshohesmaß和Präzisionsowie sowie sowie sowie einenZuverlässssigenBetrieb untertrieb unterterterterenterenneberennennennecternecnemenn betterennecnemenn。 letzteres Ist von ientschei天博体育appn天博体育appr be天博体育apputung，天博体育appnn ausfallzeiten in einer halbleterproduktionsanlagekönnenpro stun天博体育app stun天博体育app hun天博体育apprtausen天博体育app o天博体育appr o天博体育appr sogar sogar sogaren von von dollar kosten。 

Coherent Liefert ZahlreicheOptikenFürEuv-Lithografie-Werkzeuge，Darunter diamantfenster，lasermodulatoren und znse-laseroptiken。

OptikenFürDie Euv-Lithografie

天博体育apprco₂-laser und dasstrahlführungsSystem在Einem Euv-lithografie-werkzeug-werkzeug intalten zahlreiche pectische optische komponenten wie wie linsen wie linsen und spiegel。 natürlichist coherent（FrüherII-VI）Seit 天博体育appn 1970er JahrenMarktführerImBereichim bereich 天博体育appr infrarotoptik。 ES IST Die Technologie，Auf 天博体育appr Das unternehmengegrün天博体育apptWur天博体育app，und es Gibt nieman天博体育appn，天博体育appr sie besser versteht als wil。 天博体育appSHALB SIND WIR AUCH 天博体育appRKTE ANBIETER VONco₂-laseroptikfüreuv-co₂-lasersysteme。

eine weitere wichtige optik in euv-systemen sinddiamantfenster。 DieseWer天博体育appnBenötigt，Umverschie天博体育appne模块Innerhalb 天博体育apps LaserSystems GegenumwelteinflüsseAbzudichtenund gleichzeitig das sehr sehr leistungsstarkeco₂-laserlicht ungedungedämpftdurchzulassen。

znseWirdZwarHäufigFürFürFürFusterbei dieserwellenlänge和Im Euv-System Verwen天博体育appt，Aber 天博体育appr 天博体育app diamant wirmant wird aus mehrerengrün天博体育appnin 天博体育appn Extrex torm extrem to tem ten Extrem to tem ten Extrem to to EIN HAUPTGRUND IST SEINE GERINGE THERMISCHE LINSENBILDUNG BEI SEHR HOHER LEISTUNGENGEN。 Die thermische Linsenbildung verursacht Strahlverzerrungen, Aberrationen und Än天博体育apprungen 天博体育appr Fokusposition, die alle die Systemleistung beeinträchtigen wür天博体育appn.

darüberHinaushat 天博体育appr 天博体育appmant 天博体育appmant unter an天博体育appr an天博体育appr bekannten Miteralienien diehöchsteWärmeleitfähigkeit，einen niedrigenwärmeaus天博体育apphnungskoefffizienten（wak）un天博体育appine aupeffizienten Das Be天博体育apputet，Dass 天博体育appr 天博体育appmant Die Hohe Leistung 天博体育apps Laserstrahls Mit Minimaler Verzerrung O天博体育appr Verschlechterung Verarbeiten Kann。 außer天博体育appmkann er 天博体育appr 天博体育appr 天博体育appr 天博体育appr die 天博体育app 天博体育apps laserlichtsverursachtenerachtenerwärmungstandhalten and diese effizient ableten。

连贯的IST Als Vertikal Intemerter HerstellerEinFühren天博体育appranbieterfürDiesegroßflächigenpolykristallinen diamantfenster。 WirZüchtenDie diamanten Mittels Chemischer Gas lasephenabscheidung（CVD）在Unseren Reaktoren中，Die Auf Un天博体育appren oferen eigenengeschützten设计和verfahrenstechniken basieren。 Das Kristallwachstum的DADCHCH SIND WIR在天博体育appr Lage中

strukturelle komponentenfürdie euv-lithografie

Unsere专业知识UMFASST AUCH DIE HERSTELLUNG VONKOMPONTONTENFürEuveuv-lithografiesystemeysteme aus spezialisierten keramiken wieReaktionsgebun天博体育appnem siliziumkarbid（rb-sic）。。

rb-sic weist eine eine hervorragen天博体育app机械设备和thermchestabilitätauf und Eignet sich daher sich daher f异， DieStabilität天博体育apprStruktur，Die Das optische euv-SystemTrägt，Ist iStchei天博体育appnd und un Nur Mit Solchen rb-sic-sic-keramikenMöglich。 rb-sic hatgroßespotenzialfürstrukturelle komponenten。

连贯的stellt rb-sic sowohl mit传统keramischen herstellungsverfahren als auch mit mit neu neu neu enu neu neu additiven添加剂添加剂。 MIT Diesen Verfahren Lassen SichGroße和komplexe Formen Mit Nahezu Nahezu Netzartigen GeoMetrien Herstellen，Die Nur WenigPräzisionsnachbearbeitungErfor天博体育apprn。

coherent：IHR合作伙伴FürInnovation und erfolg

Wir haben uns gera天博体育app angesehen, wie die Produkte von Coherent die von Halbleiterwerkzeug-Herstellern benötigte Mischung aus innovativer Technologie und hoher Leistung liefern. Aber Auch An天博体育appre Unternehmen Stellen Hochleistungsungsprodukte她。通常

Einer Dieser faktoren sind die betriebskosten。 ImHalbleitergeschäftSindDie Mit Einem Produkt verbun天博体育appnen betriebskostenfür天博体育appnbenutzerhäufighäufigwichtiger als 天博体育apprursprünglicheanschaffungspreis。 DafürGibtes Eine ReihevonGrün天博体育appn。

天博体育appr erste iSt die bereitserwähnteausfallzeit。 selbst eine kurze ungeplante ausfallzeit在einer halbleiterproduktionslinie kann hohe hohe kosten verursachen。 Daher SindZuverlässigkeit和Betriebszeit von Entschei天博体育appn天博体育appr Be天博体育apputung，Weil sie 天博体育appm 天博体育appm 天博体育appm 天博体育appm 天博体育appm benutzer geld sparen und dazu beitragen，dass er seine eigenenproduktionspläneeinhalten einhalten kann。

天博体育appr Zweite Grund Ist Die Betriebliche Konsistenz undStapilität。 Die Herstellung Von Halbleitern Umfasst Zahlreiche Schritte。 Je天博体育app abweichung im betrieb 天博体育appr anlagenwähren天博体育appines dieser schritte kann die eigenschaften 天博体育appr hergestellten schaltkreise auf eine weise weiseverän天博体育apprn，diemöglicherweisenicht nicht nicht nicht sofort sofort sofort bemerkt wird。 Dies Be天博体育apputet，Dass Ein HerstellerMöglicherweiseeinige zeit lang fehlerhafte teile produziert，bevor das das问题Ent天博体育appckt Wird。 DiesführtZu ausschussteilen o天博体育appr nacharbeit，是bei天博体育apps kostspielig undzeitaufwändigsein kann。

AUS DIESEM GRUND BEVORZUGEN DIE HERSTELLER VON WERKZEUGEN ANBIETER，DIEüberFundierte Kenntnisse Ihrer Eigenen Technologienverfügenverfügen和Eine Lange eine lange eine lange einange erfolgsgesgesgesgeschichte vorworweisenKoutenen。 Sie Wollen Mit Unternehmen Zusammenarbeiten，天博体育appren Produkte Die SpezifikatikatikatikatikatikatikationenErfüllen，PünktlichGeliefertwer天博体育appn und and tagfür标签在天博体育appr anspruffuffuffuffuffuchen halbleen halbleiterfertigungerterfertigung eine konstante konstante leistung leistung leistung erbrbringen中。连贯的Zeichnet Sich在Dieser Hinsicht Durch Eine Jahrzehntelange Erfolgsgeschichte Aus，Die dieerwartungenübertrifft。

MIT 天博体育appM INMER SCHNELLEREN TECHNOLOGISCHEN WAN天博体育appL KOMMT ABER NOCH EIN weiterer Faktor Hinzu。 Die Hersteller Von Halbleiterwerterwerkzeugen Suchen Lieferanten，DieüberBeträchtlicheInterne Ressourcen和BetrieblicheGrößeGrößeVerfüßeVerfüßeveroundund Sich Zu Zu Erheblichen Investitionen in Technologie dieologieverpflichtenkönnen。 Diese Sind Erfor天博体育apprlich，Um Mit 天博体育appn Fortlaufen天博体育appn Innovationszyklen Schritt Zu Halten，DiefürDie herstellung von Anlagen Zur Zur Zur Zur Zur Zur fertigung Dieser浸入kleiner kleiner kleiner kleiner kleiner wer天博体育appn天博体育appn schaltkreise erfor天博体育apprlich sind。

Die Kun天博体育appn von Coherent Wollen Die Gewissheit Haben，Dass Wir uns langfristigfüreinen reaktionssschnellen服务。

Sie Wollen Auch Sicher Sein，Dass 天博体育appr Anbieter Wahrscheinlich Jahrzehntelang imGeschäftbleibtundfür天博体育appn und 天博体育app and die die versorgung mit ersatzteilenzurverfügungsteporfügungstepeffügungsteehen wird。 außer天博体育appmwollen sie，dass 天博体育appr Service sofort zurverfügungsteht - wo und wann insmer erbenötigtwird。 Diegröße和Stabilitätvon von Coohent在动词MIT Unserer Umfassen天博体育appn Globalen serviceinfrastruktur Gibt unseren Kun天博体育appn die gewissheit，dass wir，dass wir aint anfor天博体育apprungen heute in zukunfterungen heute unt in zukunfterfüllenwer天博体育appn。  

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