激光器

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坚固耐用的高占空比工业准分子激光器,专为,193 nm或248nm波长下高达2kHz

该生产线工具具备可靠性、长使用寿命、易用性和先进的脉冲控制优势。 天博体育 激光器广泛用于喷墨嘴钻孔、测量和光学测试。 semi-s2标准,可用于掩膜板检测和相关应用。

天博体育关键性能指标概述

在193nm或248nm下运行,重复频率高达2kHz,功率高达12w。

型号名称 波长(nm) 脉冲频率上限(Hz) 脉冲能量上限(MJ) 功率上限(w)
天博体育 1 KHz 193 1000 8 8
天博体育 2 KHz 2000 4
天博体育 1 KHz 248 1000
12
12
天博体育 2 KHz 2000 6