激光

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在193 nm或248 nm波长处设计为最多2 kHz脉冲重复速率应用。

生产线工具可提供可靠性,寿命,易用性和高级脉冲控制。 天博体育官网激光器广泛用于墨水喷嘴钻孔,计量和光学测试。 SEMI-S2符合照片检查和相关应用的使用。

密钥天博体育官网性能指标的概述

以193 nm或248 nm的速度运行,重复速率高达2 kHz,功率高达12瓦。 

模型名称 波长(nm) 最大。 脉冲频率(Hz) 最大。 脉搏能量(MJ) 最大。 电源(W)
天博体育官网 1 KHz 193 1000 8 8
天博体育官网 2 KHz 2000 4
天博体育官网 1 KHz 248 1000
12
12
天博体育官网 2 KHz 2000 6