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天博体育官网

微镜头数组

使用我们的一维或二维天博体育官网（MLA），打造高度紧凑的准直和聚焦系统。

coherent mla通常配置有以正方形或六边形周期性图案排列的单个小透镜，透镜间距为几百微米。它们可以使用纳米压印、光刻和玻璃成型工艺进行制造。

天博体育官网功能

coherent可以使用多种材料生产多种结构的mla。可以在6英寸硅晶圆上大批量生产近红外mla。

数据表

硅天博体育官网规格

材料规格

材料

硅

反射率

≈3.42

透明度

R <0.2％T> 99％ @ 1260-1340 nm

制造规格

直径

600±5μm

厚度

400±10μm

间距

750±1μm

通光孔径

> 510 nm

曲率半径

3.0 mm

锥形

0

表面粗糙度

<5 nm rms

透镜表面轮廓偏差

<35 nm rms

表面质量

刮痕：5/1x0.025 （基于 ISO 10110-7）

崩裂

<100μm

边缘垂直度

90±2°

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光学制造能力

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