通用光学元件

微流程图

微透镜阵列

使用我们的一维或二维微光源阵列（MLA），打造高度紧凑的准直和聚焦系统。

Coherent MLA通常配置有以坐标或六边形周期性排列的单个小灯泡，灯泡总数为几千微米。它们可以使用纳米压印、光刻和玻璃成型工艺进行制造。

微流程图功能

Coherent 使用多种材料生产多种结构的 MLA。可以在 6 英寸硅晶圆上大规模生产近红外 MLA。

数据表

硅微流程图规格

材料规格

材料

硅

反射率

≈ 3.42

透明度

R <0.2% T >99% @ 1260-1340 nm

制造规格

直径

600±5μm

厚度

400±10μm

间距

750±1μm

通光孔径

>510 纳米

曲率半径

3.0毫米

锥形

0

表面粗糙度

<5 nm RMS

地形曲面偏差

<35 nm RMS

表面质量

刮痕：5/1x0.025（基于ISO 10110-7）

崩裂

<100微米

边缘垂直度

90 ±2°

相关产品

光学制造能力

天博体育官网连贯的高材料生长、制造、涂层和整体集成能力以及严格的质量保证。天博体育官网这些能力如何确保我们光学器件的性能和可靠性，并最大限度降低供应链风险和不确定性。

天博体育官网更多