通用光学
微天博体育app阵列
使用我们的一维微卷阵列（MLAS）创建高度紧凑的准直和聚焦系统。
相干MLA通常配置为平方或六边形周期性图案的单个天博体育app，并带有几百微米的天博体育app螺距。它们可以使用纳米印刷，光刻和玻璃成型进行制造。
微天博体育app阵列功能
天博体育app可以在各种材料中产生各种结构的MLA。可以在6英寸的Si晶圆上完成近红外MLA的大量生产。
硅Microlens阵列规格
材料规格 |
|
材料 |
硅 |
反射索引 |
≈3.42 |
透明度 |
R <0.2％T> 99％ @ 1260-1340 nm |
制造规格 |
|
直径 |
600±5μm |
厚度 |
400±10μm |
PITCH |
750±1μm |
清除光圈 |
> 510 nm |
曲率半径 |
3.0毫米 |
锥形 |
0 |
表面粗糙度 |
<5 nm rms |
天博体育app表面轮廓偏差 |
<35 nm rms |
表面质量 |
Scratch-dig：5/1x0.025 ISO 10110-7的基础 |
Chipping |
<100μm |
边缘垂直度 |
90±2° |
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