精密材料加工领域的巨大飞跃

Coherent高意推出了其磁铁HyperRap天博体育官网 NXT 266工业级深紫外皮秒激光器，可提供小至5 µm的非凡精密制造技术。

2021年4月16日，作者：连贯高意

Coherent 高意新推出的HyperRap天博体育官网 NXT 266可以烧蚀玻璃、聚合物、半导体和其他材料中尺寸小至5 µm的孔洞、蒸发、贯穿螺纹和其他结构。皮秒超短脉冲(USP)输出、266 nm波长和10 W平均功率组合使该激光器能够以出色的深度控制水平可靠地加工材料，并且几乎不会产生热影响区。另外，HyperRap天博体育官网 NXT 266 高达5 kHz的重复频率和出色的可靠性意味着这台激光器支持大规模生产并能在短时间内持续很长时间。

当用于有机薄膜切割时，HyperRap天博体育官网 NXT 266几乎不产生热影响区，超过了HyperRap天博体育官网 NXT 355已经取得了出色的成果。

借助HyperRap天博体育官网 NXT 266提供的卓越精度，许多以前无法完成或者依赖于其他方法（例如化学精密，这些方法的成本较高、加工时间长且特征环境不理想）的精密微结构成型任务现在渴望轻松完成。其中包括用于制造显示器、有机电子产品、半导体集成电路、量子计算导波导、医疗入口物和生物分析仪器组件的工艺。

相干公司凭借其强调的第二能力成功推出了这一基准产品。第一项能力是能够在内部和外观质量优异的非线性晶体，促进将初始红外输出的频率提高四倍，达到深波长266 nm波长。没有其他组织能够持续生产在HyperRap天博体育官网 NXT 266功率水平下可靠运行并保证5,000小时生命周期的非线性晶体。

第二项关键能力是相干高意制造深光伏激光器方面的丰富经验。这需要洁净室制造以及设施生产工作流程和整理方法，以保持最终的激光器包装所需的原始清洁度。