通用光学元件

天博体育

该光学元件可帮助动态调整焦深并补偿整个工作台的焦距变化,从而提高co₂

天博体育是一种独特的组件,可通过水压或气压改变光学元件的曲率半径

天博体育(VRM)功能

coherent采用专有的设计技术来准确建模vrm形状,预测其在压力下会如何变形,并针对特定应用对其进行优化。

典型铜vrm规格

加压方法

空气

反射镜直径

57.1 mm

79.0毫米

通光孔径

35毫米

50 mm

半径范围

-6 m至6m

3 m至平面

平面至3m

1.2 m至-1.6 m

加压范围

3至12bar

0至12bar

入射角

接近正常

45°

指向稳定性

≤30角秒

反射率

> 99.8%(10.6µm)