天博体育官网大学：分析pld中的天博体育官网靶修改

挑战

Helmut Karl博士是德国天博体育官网大学的实验物理学教授

可以通过脉冲天博体育官网沉积（pld）创造出高质量氧化物层。在此过程中，天博体育官网脉冲在真空室中蒸发目标表面

许多已发表的研究，包括天博体育官网大学小组的一些研究

解决方案

该团队决定研究脉冲天博体育官网烧蚀对单晶（001），（011）和（111）取向的srtio3（sto），（102）取向的laalo3（lao）和（001）和（001）y3al5o12（yag）取向的y3al5o12（yag）靶材的影响。

他们决定在这项研究中使用krf准分子天博体育官网器，特别是相干公司的compex205 f （工作波长为248 nm），因为这是许多pld研究和工业应用中首选的常用天博体育官网器。，达到，达到750mj，支持由低到高通量下的大面积烧蚀。karl解释说：“实践证明

图1显示了本研究中使用的光学装置的一部分。，光圈和缩小透镜都保持在固定位置，同时使用全介质衰减器连续调节光圈处的天博体育官网能量。，同时使用全介质衰减器连续调节光圈处的天博体育官网能量。，1-6 J/cm2

成果

利用这种装置|，天博体育官网人员着手全面评估单晶靶材

该天博体育官网揭示了几个有趣的结果。该天博体育官网揭示了几个有趣的结果。，所有材料都有一个几百纳米厚的沉积层

总之，该团队希望这些新见解可以改善天博体育官网靶标选择

参考文献

1。 F. Jung等人，脉冲天博体育官网消融过程中Crystalline Srtio3，Laalo3和Y3AL5O12的表面演变，应用物理学A卷128，文章编号：750（2022）

查看更多成功案例