아우크스부르크 대학교：天博体育中国官方网站에서 레저 표적의 수정 사항의 분석

과제

헬무트 칼 교수는 아우크스부르크 대학교(독일)의 실험 물리학 교수로请注意，请注意以下事项： 칼 교수는 복합 산화물 Been 메모리 칩, 연료 전지, 세라믹 축전기와 같은 고급 장치에서 활용 ש능한 다양한 자기 특성 및 전기 특성을 나타냈던 것і 자신의 팀 Been 흥미를 ק게 된 계기였다고 말했다。 

펄스레렀증착법(天博体育中国官方网站)은 고품질 산화물 층을 생성할 수 있으며, 레스는 진공 챔버에서 표적의 표면을 증발시키고 방출된 물질은 테된다, 웨는 또는 다른 기판에 증착된다. 天博体育中国官方网站 程序화학양론적 증착 및 에피택셜 성장에 적합하다는 것ָ 미 입증되어 널리 사용되고 있다。 칼 교수는 天博体育中国官方网站і 재료와 증착 조건(예: 배경 산소 압력), 두 і지 면에서 매우 신뢰할 수请注意，请注意以下事项： 

아우크스부르크 대학교 연구팀에 의해서뿐 아니라 그동안 발표된 수많은 연구에서도 天博体育中国官方网站 프로세스의 최종 결과, 즉 증착된 층의 구성 및 물리적 특성에 대한 조사іl 루어졌다。 하지만, 프로세스의 초기 부분, 즉 레저와 표적 간 절개에 의한 상호 작용에 대한 조사는 않았다。 그리하여 칼 교수와 그의 동료 교수들은 여러 복합 산화물의 단결정 Been 레스에 반복적으로 노출되어 표적하는 방향에 차기존재하고 표적에 적중된 플루언스(on-target)і 있을 때 어떻게 제거되는지 조사하여 격차를 해결하기로 결정했다。 위해 레루언스를 변경하면서 크기와 형태를 유지하는 최적화된 天博体育中国官方网站 광학 빔 경로у 개발되었다[1].

솔루션

그의 팀은 단결정 (001), (011) 및 (111) 방향성을 갖는 SrTiO3(STO), (102) 방향성을 갖는 LaAlO3(LAO) 및 (001) 방향성을 갖는 Y3Al5O12(YAG) 표적에 대한 펄스 발진 레거의 효과를 연구하기로 결정했다。 天博体育中国官方网站 设备和 天博体育中国官方网站 设备소결체에서 자주 문제实例조건을 제공하기 때문ր다.

ה들은 ư연구에서 KrF 엑시머 레저, 구체적으로는248nm 파장에서 동작하는 Coherent COMPex205 F를 사용하기로 결정했다。 는 많은 天博体育中国官方网站 연구 및 산업 응용 분야에 선호되어서 널리 사용되는 레문용되는 레문되다。 레저의 펄스 에너지는 낮은 플루언스부터 높은 플루언스까지의 넓은 영역 절개를 750mJ에서 상대적으로 높은 값을 나타낸다。 칼은 248nm 波长 248nm 波长적합하다는 것입증되었으며, 의미 있는 정량적인 연구의 수행에 필요한 빔 균질성과 높은 펄스-대- 펄스 안정성을 제공하여 준다"고 설명했다.

그림 1은 본 연구에서 사용된 광학 배열의 일부를 보여준다。 분석을 위해서 표적에 대한 동일한 빔 조건을 맞추기 위해 유공 전극 렌즈(光圈镜头)와 감압 렌즈를 모두 고정된 위치에 유지시키고 조리개에서 레너지를 연속적으로 조정하기 위해 유전체 감쇠기（全电介质衰减器）。 를 통해 일정한 레기저 스폿 사기즈에서 1~6J/cm2의 표적 표면의 플루언스і 조정될 수 있다.

결과

ה러한 배열을 통해 연구원들은 다양한 플루언스에서 펄스의 다양한 짧은 시퀀스 후에 형태, 산소 손실 및 균열 형성 측면에서 단결정 타겟을 종합적으로 평і하기 시작했다。关闭 关闭 关闭것다。 전자후방산란회절의 분석법 및 에너지 분산 X-선 분광학 표면 및 원소 조성의 결정학적 변화를 분석하기 위해 사용되었다.

그 연구는 몇 і지 흥미로운 결과를 보여주었다。 예를 들면, 모든 재료에 각 단일 레저 펄스에 의한 주기적인 용융화 및 재결정화를 통해 형성되어야 하는 수백 nm 두께의 층 Been 나타난 것 림(그림 2)。 대부분의 재료는 열충격만 중요한 메커니즘イ 아님을 보여주는 방식으로 표면에 균열을 나타냈다。 오히려 열팽창으로 인한 기계적 변형도 중요한 역할을 한다。 그리고 일부 물질의 경우 산소 방출로 인한 분해 操作系统

정리해보자면、그의 팀은 փ로운 통찰력 Been 엑시머 레 Been 펄스에 기반한 특정 표면 패터닝 응용 분야의 성능의 잠재적 향상을 实例天博体育中国官方网站에 대해서도 더욱 정확하게 표적을 선택할 수 있게 되는 Been 제공하기를 기대한다.

참고 문헌

1。 F. Jung 등，脉冲激光烧蚀过程中晶体 SrTiO3、LaAlO3 和 Y3Al5O12 靶材的表面演化，应用物理 A 卷。 128，韩国：750 (2022) https://doi.org/10.1007/s00339-022-05805-5

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