客户成功案例
天博体育 准分子激光帮助实现薄膜的导向批量脉冲激光天博体育
挑战
薄膜天博体育技术应用于多种市场
解决方案
solmates团队使用了pld。这是一种物理气相天博体育方法,依靠准分子激光将化学计量特征极为复杂的材料天博体育在导电和非导电基板上。,pld系统可以完全控制天博体育参数,因而能够对最终薄膜特性进行工程设计
结果
如今,solmates pld平台可以集成到任何标准集群框架中,以支持小规模和大批量生产。300毫米工业晶圆的高质量pld工艺的出现,工业客户能够扩大他们的薄膜天博体育产能,并在天博体育产品组合中添加大约30
“天博体育天博体育的准分子激光器是我们脉冲激光天博体育系统的核心”
- Arjen Janssens,荷兰恩斯赫德solmates天博体育首席执行官


