客户成功故事

准分子天博体育app启用薄膜的飞行员和音量脉冲天博体育app沉积

挑战

薄膜沉积技术用于多种市场，例如MEMS，半导体，光伏，OLED显示器和RF过滤器，以进行5G通信。具有越来越重要的材料属性的新的复杂材料系统需要持续扩展和质量改进薄膜沉积技术，从而支持更广泛的薄膜过程，同时还可以灵活地进行过程优化。一家专门从事荷兰Enschede的脉冲天博体育app沉积（PLD）的公司，着手为不断发展的薄膜行业开发强大且用户友好的沉积设备。

解决方案

天博体育app Team使用PLD，PLD是一种物理蒸气沉积方法，依靠准分子激光将复杂化学计量的材料沉积在导电和非导电基板上。他们的PLD系统提供了对沉积参数的完全控制，该参数能够工程化最终的薄膜特性，例如成分，结晶度，密度，孔隙率和膜应力。薄膜制造商可以通过其他沉积技术无法实现电气和光学薄膜的特性，甚至可以冒险进入新的材料系统和应用。这COHERENT LEAP天博体育app系列由天博体育app选择了其高（每脉冲最多1焦耳）的能量和可扩展功率（80至300 W）的组合，这决定了PLD系统吞吐量。另外，LEAP激光器在苛刻的高容量生产环境中拥有24/7的工业可靠性和最小化晶圆成本的良好记录。