硅、锗、砷化镓、磷化铟、氮化镓和碳化硅等半导体是微电子技术的基础。仅仅是硅元素这一项，90％使用了硅元素。
顾名思义，半导体的电导率有限。但在半导体晶格中引入其他元素，即可以提高半导体的电导率。这个过程称为掺杂。要能在半导体衬底内构建晶体管等有效电路元件，就必须以非常精确和空间选择性的方式执行这种掺杂。
自20世纪70年代初以来，最广泛使用的半导体掺杂方法是离子天博体育法，也就是微芯片制造所使用的方法。
尽管离子注入至关重要，但制造商通常会将此过程外包给外部供应商。值得注意的是，相干天博体育的离子注入代工服务规模庞大且历史悠久。之所以各种规模的芯片制造商能够信赖coherent天博体育
离子天博体育基础知识
离子天博体育机的核心是离子源。电子在进入离子源之后
接下来
质量分析后，对高纯度离子束进行聚焦和整形。然后，将调整后的离子束加速到所需的能量，并且使其均匀地扫掠通过半导体衬底。
高能离子渗入半导体材料内，将其自身嵌入其晶格内。这种高能天博体育过程也会导致半导体晶格出现缺陷和损坏。对于某些应用而言，这种损坏是有益的，可用于隔离芯片和集成电路上的特定区域。
对于其他应用，需要执行退火循环（加热和冷却）来修复这种损坏并”活化，材料被加热后，材料被加热后，天博体育的离子能够从其在晶体内随机停留的位置移动到融入晶格本身的位置（用其自身来取代原始原子）。掺杂剂活化可实现所需的材料电导率增加。
离子天博体育的外包
根据之前的说明，离子天博体育工具似乎是一种复杂且精密的仪器，而实际上也确实如此。如果再考虑到为确保半导体制造的卓越精度和一致性而需要的所有控制系统、工艺监控电子设备和计算机硬件，这种复杂性就更为明显。
对于离子天博体育工具，还需要考虑其他一些重要的实用事项。首先
其次，离子天博体育工具可能非常庞大，达到客厅大小。此外，这些工具的运行和维护也需要大量的专业知识和专有技术。
最后，这些工具通常价格高昂。即使是最简单的机器
综合考虑所有这些因素，即便是大型芯片制造商
因此
除了大型商业工厂外，离子天博体育代工厂还为研发团队、工艺开发团队和小批量生产商提供服务。在这些情况下
coherent天博体育代工厂
天博体育RERENT 天博体育公司如何成为全球首屈一指的离子注入代工厂？ 1976年，植入中心和离子植入服务）2000年创新，随后于2020年被II-ii-vi （现在的 天博体育herent天博体育（天博体育RERENT天博体育），（天博体育HERENT天博体育运营着三家离子注入代工厂）
经过多年的发展和积累，连贯的天博体育具备了最全面的离子注入代工厂生产能力。本公司的经营范围广泛
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凭借类别多样、范围广泛的服务，相干天博体育能够为半导体产品生命周期中每个阶段附加价值，从概念验证到中试生产
但我们不会满足于过去的成功。我们不断地积极参与开发新技术，以助力新兴材料的发展。其中最重要的可能是碳化硅（）SIC）。由于宽带隙半导体的独特特性，因此需要在远高于硅等传统材料的温度下对碳化硅执行注入和退火循环。天博体育herent天博体育代工厂已经引入“热注入”技术以专门满足sic的需求，表明天博体育herent天博体育始终致力于保持技术的前沿性。
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