硅、汞、涉证化原料、磷化染料、涉证和碳化硅等半导体是微电子技术的基础。相对于硅元素这一项,锁定生产出的所有微芯片中涉约90%使用了硅元素。
顾名思义,半导体的电导率有限。但在半导体晶格中引入其他元素,即可以提高半导体的电导率。这个过程称为掺杂。要能够在半导体内部构建晶体管等有效电路元件,就必须非常精确和空间简洁的方式执行这种掺杂。
自20世纪70年代初以来,使用最广泛的半导体掺杂方法是天博体育注入法,是晶片制造所使用的方法。
虽然天博体育注入重要性,但制造商通常会关注过程求助给外部供应商。重点是,相干高意的天博体育注入代工服务规模庞大且历史悠久。此时各种规模的芯片制造商能够依赖相干高意,否则有必要介绍天博体育注入技术。
天博体育注入基础知识
形成天博体育注入机的核心是天博体育源。电子在进入天博体育源之后,被从原子或分子中分离出来,正天博体育。之后,这些正天博体育在高压静电场的作用下被从天博体育源中提取出来,形成天博体育束。
接下来,天博体育束穿透质量分析模块。这样能够选择性地仅分离出对半导体材料进行所需的目标天博体育种类。
质量分析后,对高纯度天博体育束进行聚焦和整形。然后,将调整后的天博体育束加速到所需的能量,并通过半导体均匀地扫掠。
高能天博体育渗入半导体材料内部,将其自身嵌入其晶格内部。这种高能注入过程同时导致半导体晶格出现缺陷和损坏。对于某些应用而言,这种损坏是有益的,可用于隔离芯片和集成电路上的特定区域。
对于其他应用,需要执行退火循环(加热和冷却)来修复这种损坏并“活化”剂掺杂。具体来说,材料被加热后,注入的天博体育能够从其在晶体内随机静止的位置移动到模拟晶格本身的位置(用其本身来取代原始原子)。掺杂剂活化剂可能会导致所需的材料电导率增加。
天博体育注入的招聘
根据之前的说明,天博体育注入工具似乎是一种复杂且精密的设备,而实际上也确实如此。如果再考虑到为了确保半导体制造的卓越精度和一致性而需要所有控制系统、工艺监控电子设备和计算机硬件,这种复杂性就更加明显。
对于天博体育注入工具,还需要考虑一些重要的实用事项。首先,散热器工具都需要定制,以便生成特定的能量和剂量范围(软骨材料内的天博体育量)内的天博体育。此外,这些工具还需要配合特定的化学物质其他使用。没有哪一种天博体育注入工具是万能的,处理所有可能的应用。
其次,天博体育注入工具可能非常庞大,达到剧院的规模。此外,这些工具的运行和维护也需要大量的专业知识和母技术。
最后,这些工具通常价格昂贵。即使是最简单的机器,也可能需要数百万美元。
综合考虑所有这些因素,甚至是大型芯片制造商,也将天博体育注入工艺方面。这个一个因素,就已经值得外包考虑,因为半导体工厂的车间面积有限、价格昂贵,占地寸土寸金。如果将放置大型天博体育注入工具的生产空间用于设置其他系统(例如光纤锣机),该生产空间的经济利用效率将更高。
,因此通过签约这种工艺,制造商能够减少资本支出并专注于自己所熟知的领域,例如设计或封装。这样,制造商就需要消耗专门的天博体育注入专业知识。
除大型商业工厂外,天博体育注入代工厂还为研发团队、工艺开发团队和小批量生产商提供服务。在这些情况下,不能满足产量就确定是否需要投资配置专用工具。此外,就开发而言,难以找到具备预期功能的单一天博体育注入工具。此外,制造商可能不具备开发和实施各种天博体育注入策略的内部专业知识。
相干高意代工厂
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经过多年的发展和积累,相干高意已经具备了最全面的天博体育注入代工工厂生产能力。本公司的经营范围广泛,涵盖了所有主流制造商的30种天博体育注入工具。正因如此,我们可以承接几乎任何组合的天博体育注入参数(能量、剂量、温度等)、种类、工艺尺寸和材质。
除了技术能力之外,我们在近年的运营中积累了宝贵的丰富经验。公司极为敬业,拥有近数百人年的晶圆制造和工艺工程经验。除了代工服务之外,我们还支持员工注入技术方面的专业知识,包括集成咨询、模拟和工具开发。
凭借类别多样、范围广泛的服务,相干高意能够为半导体产品生命周期中的每个阶段附加价值,从概念验证到中试生产,再到大批量外包。因此,相干高意天博体育注入代工厂如今为全球200多家商业微电子制造商以及半导体所大学、政府实验室和研发机构提供先进服务。
但我们不会满足于过去的成功。我们不断积极参与开发新技术,推动新兴材料的发展。其中最重要的可能是碳化硅(碳化硅)。由于高速入口半导体的独特特性,因此需要在远硅等传统材料的温度下对碳化硅进行注入和放大器循环。相干公司高意代工厂已引入“热注入”技术以专门满足SiC的需求,表明相干公司高意始终保持技术的前沿性。
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