半导体デバイス用の天博综合体育app下载ン注入

coherent の高度な天博综合体育app下载ン注入ファウンドリサービスは、半导体メーカーを研究・开発から量产までサポートします。

2023 年11月8日、天博综合体育app下载herent

シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、リン化インジウム、窒化ガリウム、炭化ケイ素などの半导体は、マイクロエレクトロニクス技术の基盘です。シリコンだけでも、现在制造されているマイクロチップの约90％に使用されてい天博综合体育app下载。

半导体は、その名前が示すように、电気伝导率が限られています。しかし、その结晶格子に他の元素を导入天博综合体育app下载ことで、导电性を高めることができます。この工程はドーピングと呼ばれます。このドーピングをきわめて正确かつ空间的に选択的に行うことで、半导体基板内にトランジスタなどの有用な回路要素を作成できます。

1970 年代初头以来、半导体ドーピングに最も広く使用されている方法は天博综合体育app下载ン注入です。マイクロチップの制造は、天博综合体育app下载ン注入により可能になります。

天博综合体育app下载ン注入は重要な工程ですが、メーカーは通常、この工程を外部ベンダーに委托します。特に、相干は长い歴史を持つ世界最大の天博综合体育app下载ン注入ファウンドリサービスです。大小さまざまなチップメーカーが、この重要な工程を coherent に委托する理由を理解するには、まず天博综合体育app下载ン注入技术についてお话しする必要があります。

天博综合体育app下载ン注入の基础

天博综合体育app下载ン注入の中心は天博综合体育app下载ン源です。ここで原子や分子から电子が夺われ、正天博综合体育app下载ンが生成されます。その后、高电圧の静电场を使用して天博综合体育app下载ン源から正天博综合体育app下载ンを抽出し、天博综合体育app下载ンビームが形成されます。

次に、天博综合体育app下载ンビームは质量分析モジュールを通过します。これにより、半导体材料の改质に必要な目的の天博综合体育app下载ン种のみが选択的に分离されます。

质量分析后、高纯度天博综合体育app下载ンビームが集束され、成形されます。调整された天博综合体育app下载ンビームは、その后、所望のエネルギーまで加速され、半导体基板上で均一に走查されます。

高エネルギー天博综合体育app下载ンは半导体材料に浸透し、その结晶格子内に埋め込まれます。この高エネルギーの注入工程では欠陥も生じ、半导体结晶格子を损伤します。アプリケーションによっては、この损伤は有用で、チップや集积回路上の领域を分离するのに使われます。

他のアプリケーションでは、レーザアニーリングサイクル（加热と冷却）（）を実行して、この损伤を修复し、ドーパントを「活性化」します。具体的には、材料を加热することで、注入された天博综合体育app下载ンは结晶内にランダムに留まっていた场所から移动し、格子自体に组み込まれます（元の原子と置き换わります）。ドーパントの活性化により、材料の导电率が所望のとおり増加します。

天博综合体育app下载ン注入の外部委托

これまでの说明から、天博综合体育app下载ン注入装置が复雑で洗练された机械であることがご理解いただけたでしょうか。この复雑さは、半导体制造に必要な卓越した精度と一贯性を确保するために必要なすべての制御システム、工程监视エレクトロニクス、コンピュータハードウェアを考虑するとさらに顕着になります。

天博综合体育app下载ン注入装置を実际に运用することを考えたとき、他にもいくつか注意すべき重要な点があります。まず、それぞれの装置は、特定のエネルギーと线量（材料に取り込む天博综合体育app下载ンの量）の范囲内で天博综合体育app下载ンを生成するように调整されています。また、特定の化学种に対応するように作られています。あらゆる用途に対応できる万能の天博综合体育app下载ン注入装置はありません。

次に、天博综合体育app下载ン注入装置は大きく、リビングルームほどのスペースが必要になることもあります。また、运用と保守にはかなりの専门知识と専门技术が必要です。

最后に、これらの装置はかなり高価です。非常に単纯なものでも数百万ドルかかることがあり天博综合体育app下载。

このような事情から、大手のチップメーカーでさえ天博综合体育app下载ン注入は外部委托するのが普通です。半导体工场の床面积は限られており、高価で割高であるため、サイズだけでも重要な要素です。多くの场合、生产スペースに大型の天博综合体育app下载ン注入装置を置くよりも、ウェハステッパなど他のシステムを设置した方がコスト效率が向上するからです。

外部委托により、メーカーは设备投资を抑え、デザインやパッケージングなど自社の得意分野に注力できます。また、天博综合体育app下载ン注入の専门知识を持つ人材を维持する必要がなくなります。

天博综合体育app下载ン注入ファウンドリは、大规模な商业用制造工场の他にも、研究・开発グループ、プロセス开発チーム、少量生产メーカーにもサービスを提供しています。これらの施设では、専用装置に投资するほどの生产量が见込めません。さらに、开発目的の场合、1台で必要な机能をすべて备えた天博综合体育app下载ン注入装置を见つけるのは、多くの场合现実的ではありません。さらに、幅広い天博综合体育app下载ン注入戦略を検讨して実装するための専门知识がメーカーの社内にない可能性があります。

coherent天博综合体育app下载ウンドリのご绍介

连贯1976年植入中心と离子植入服务という22つの异なる会社がカリフォルニア州サンノゼで设立されたときに始ま天博综合体育app下载した。2つの异なる会社がカリフォルニア州サンノゼで设立されたときに始ま天博综合体育app下载した。22000年に合并して创新となり、その后、 2020年II-VI （现 ii-vi coherent に买收されました。现在、（连贯）に买收されました。现在、 coherentは米国にcoherentは米国に2 か所（マサチューセッツ州サンノゼとウィルミントン 2 か所（マサチューセッツ州サンノゼとウィルミントン）

当社は长い歴史にわたり、天博综合体育app下载ン注入ファウンドリの间で最も包括的な一连の生产能力を蓄积してきました。当社では、すべての主要メーカー制の30 种类以上の多様な天博综合体育app下载ン注入装置が稼働しています。このように多様な装置に対応しているため、天博综合体育app下载ン注入パラメータ（エネルギー、线量、温度など）、种、ウェハサイズ、基板材料のほぼすべての组み合わせに対応できます。

当社には、技术力に加え、数十年にわたる事业运営から得た贵重な経験があります。当社の専任スタッフは、合わせて数百人年のウェハ制造およびプロセス工学の経験を持っています。当社が持つ専门知识はファウンドリサービスにとどまらず、统合コンサルティング、シミュレーション、ツール开発など、天博综合体育app下载ン注入技术のあらゆる侧面をサポートしています。

幅広いサービスを展开するcoherent は、概念実证やパイロットライン生产から、大量の外部委托に至るまで、半导体制品のライフサイクルのあらゆる段阶で付加価値を提供しています。その结果、 coherent の天博综合体育app下载ン注入ファウンドリは、现在、世界中の 200

しかし、私たちは过去の成功に安住しているわけではありません。当社は、新兴材料をサポート天博综合体育app下载新技术の开発にも积极的に取り组んでいます。とりわけ重要のは、おそらく炭化ケイ素（SIC）でしょう。このワイドバンドギャップ半导体の独自の特性に対応するためには、天博综合体育app下载とレーザアニーリングの両方のサイクルを、シリコンなどの従来の材料よりはるかに高温で行う必要があります。

天博综合体育app下载herentの天博综合体育app下载ン注入ファウンドリサービスについてはこちらをご覧ください。