激光系统
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基于功能强大的compex准分子激光器的系统是灵活的工具，适用于对线光束或方形光束场形状进行高质量紫外光微加工。
卓越的光学设计、牢固的结构和具有无与伦比的脉冲间稳定性的准分子激光器可提供精确的效果。 卓越的光学设计、牢固的结构和具有无与伦比的脉冲间稳定性的准分子激光器可提供精确的效果。（llo）分离、掺杂剂离子活化、烧蚀制图和薄膜退火。
天博综合体育app下载 - 一些关键性能指标
借助天博综合体育app下载 的高（高达 7.5 j/cm2）能量密度和100Hz脉冲重复频率，获得精确的烧蚀或材料改性结果。
产品规格
参数 |
天博综合体育app下载 Eco |
天博综合体育app下载 Pro |
天博综合体育app下载扫地 |
场形状 |
方形 |
方形 |
线 |
场尺寸（mm2） |
2 x 2 |
2 x 2 |
50 x 0.6 |
光学分辨率（µm） |
30 |
5 |
- |
