激光器和系统

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基于功能强大的Compex准分子激光器的系统是具有线束或方形梁场形状的高质量紫外线处理的灵活工具。

出色的光学设计，坚固的力学和具有无与伦比的脉冲到脉冲稳定性的准分子激光器可提供精确的结果。应用包括激光提升（LLO）分离，掺杂离子激活，消融图案和薄膜退火。

天博体育app下载 - 一些关键性能指标

以高（高达7.5 j/cm2）的能量密度和100 Hz脉冲重复频率获得精确的消融或材料修改结果。

 

数据表

产品规格

参数 

天博体育app下载 Eco 

天博体育app下载 Pro 

天博体育app下载扫地 

字段形状

Squ天博体育app下载e

Squ天博体育app下载e

线

字段尺寸（mm2） 

2 x 2

2 x 2

50 x 0.6

光学分辨率（µm）

30

5

-

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